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内容类型

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发表日期

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学科主题

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浏览/检索结果: 共20条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王凤翔   |  收藏  |   射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |   谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 张健 收藏  |   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |   低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64 王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾 收藏  |