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硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:
平文
;
孔德义
;
单建华
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毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:
李加东
;
张轲
;
吴东岷
;
苗斌
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  |  
AFM扫描探针的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
何欢
收藏
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表面特异性分子自组装与微悬臂梁生化传感器
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
陈滢
收藏
  |  
一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器
期刊论文
OAI收割
固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01
毛健
;
车录锋
;
林友玲
;
李玉芳
;
周晓峰
;
熊斌
;
王跃林
收藏
  |  
频率选择性信道下基于虚拟MIMO-STBC的无线传感器网络中功率分配的研究
期刊论文
OAI收割
高技术通讯, 2008, 期号: 07
严凯
;
邱云周
;
丁盛
;
朱明华
;
刘海涛
收藏
  |  
基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2007, 卷号: 1, 期号: 总第144, 页码: 4,15_18
作者:
舞玉鹏
;
叶甜春
;
陈大鹏
;
欧毅
;
李超波
  |  
收藏
  |  
单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 09
董培涛
;
李昕欣
;
张鲲
;
吴学忠
;
李圣怡
;
封松林
收藏
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基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04
孙佳胤
;
陈静
;
王曦
;
王建峰
;
刘卫
;
朱建军
;
杨辉
收藏
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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
赵全斌
收藏
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