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• 期刊论文 [13]
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发表日期

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学科主题

• 力学 [1]

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浏览/检索结果: 共16条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电容式微加工超声传感器关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 王小青 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/06/02 电容式微加工超声传感器  COMSOL仿真  低温硅片直接键合  粗糙度  接触角   微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890 王家畴; 刘洁丹; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS  MISSM技术  单硅片单面加工  微型释放窗口   以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究 会议论文  OAI收割 第九届中国太阳能光伏会议, 成都, 2006-11-01 徐华毕; 梁宗存; 沈辉; 李仲吉 收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2011/07/26 废旧硅片  回收处理  喷砂  化学腐蚀  太阳能光伏   厚硅片的高速激光切片研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2006, 期号: 5 崔建丰; 赵晶; 樊仲维; 赵存华; 张晶; 牛岗; 石朝晖; 裴博; 张国新; 薛岩; 毕勇; 亓岩 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2012/09/25 激光技术  全固体激光器  声光调Q  激光切片  硅片   百瓦级新型金属双极板PEM燃料电池堆研制 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2006, 期号: 02 王东; 张伟; 刘向; 夏保佳; 李国欣 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)  微机电系统(MEMS)技术  单晶硅片   光刻机硅片表面不平度原位检测技术 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 1975, 1979 张冬青; 王向朝; 施伟杰 收藏  |  浏览/下载：1346/240  |  提交时间：2009/09/18 硅片表面不平度  FOCAL技术  光刻机  原位检测   硅片表面球形粒子散射研究 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 517, 520 曹楷; 程兆谷; 高海军 收藏  |  浏览/下载：826/215  |  提交时间：2009/09/24 硅片  散射  米氏理论  杨氏模型  微分散射截面   一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2005, 期号: 06, 页码: 637-642 作者:  张平;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 微硅片狭缝  微小型光纤光谱仪  微光机电系统  分辨率  波长标定公式   数字射频存储器用GaAs超高速3bit相位ADC的设计与实现 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 期号: 07 张有涛; 夏冠群; 李拂晓; 高建峰; 杨乃彬 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)  微机电系统(MEMS)  单晶硅片  压缩比   偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757 作者:  张平;  王淑荣;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/03/11 (111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  湿法腐蚀