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抑制螺栓固定悬臂梁谐振效应的胶层设计
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2018, 期号: 07, 页码: 30-32+36
作者:
宋阳
;
王强龙
;
刘震宇
;
李耀彬
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/09/17
悬臂梁
螺栓连接
谐振效应
拓扑优化
胶层
非线性
硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:
平文
;
孔德义
;
单建华
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2020/10/26
谐振式压力传感器
敏感结构
谐振梁
硅膜
模态仿真
灵敏度
便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
收藏
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2016/06/03
微悬臂梁
生物传感器
闭环谐振器
肝癌早诊
局域修饰
便携式
谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
曹明威
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2013/06/08
MEMS气压传感器
“H”型谐振梁
差分检测
圆片级真空封装
阳极键合
基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
柴光飞
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浏览/下载:109/0
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提交时间:2013/04/24
谐振式微悬臂梁
生化传感器
接口电路
锁相环
FPGA
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
赵立波
;
徐龙起
;
张桂铭
;
黄恩泽
;
王晓坡
;
宋渤
;
蒋庄德
;
刘志刚
收藏
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2013/03/20
MEMS
梯形悬臂梁
密度
传感器
谐振频率
基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
张桂铭
;
赵立波
;
徐龙起
;
黄恩泽
;
王晓坡
;
宋渤
;
蒋庄德
;
刘志刚
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浏览/下载:82/0
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提交时间:2013/03/20
MEMS
微悬臂梁
谐振
密度
压阻式谐振微悬臂梁黏度传感器
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
张桂铭
;
赵立波
;
徐龙起
;
黄恩泽
;
王晓坡
;
宋渤
;
蒋庄德
;
刘志刚
收藏
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2013/03/20
MEMS
黏度
压阻
微悬臂梁
谐振
平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875
俞锋
;
李昕欣
;
于海涛
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2013/02/22
悬臂梁传感器
平面内谐振模态
品质因数
电热驱动
液体中谐振
基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2011, 期号: 12
丁萃
;
成海涛
;
杨恒
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/04/13
纳米梁
谐振器
压阻检测
MOS电容