中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
上海微系统与信息技... [11]
电子学研究所 [2]
上海药物研究所 [2]
新疆理化技术研究所 [1]
长春应用化学研究所 [1]
昆明动物研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [18]
内容类型
学位论文 [9]
期刊论文 [9]
发表日期
2017 [1]
2015 [1]
2013 [1]
2012 [1]
2010 [2]
2009 [1]
更多
学科主题
传感器 [2]
Sensor [1]
Vacuum [1]
真空电子技术 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共18条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
含碱金属线性/非线性光学材料结构性能关系研究及新结构预测
学位论文
OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2017
作者:
侯典伟
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2017/09/26
非线性光学
碱金属
共轭体系
键级
倍频
高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
收藏
  |  
浏览/下载:75/0
  |  
提交时间:2015/06/05
谐振式
压力传感器
品质因数
圆片级真空封装
阳极键合
吸气剂
TGV
低应力组装
差频检测
温度补偿
谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
曹明威
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2013/06/08
MEMS气压传感器
“H”型谐振梁
差分检测
圆片级真空封装
阳极键合
硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
张志强
收藏
  |  
浏览/下载:171/0
  |  
提交时间:2013/04/24
芯片级原子钟
激光键合
键合强度
气密性
多层缓冲原子腔
采用金-金键合工艺制备垂直结构氮化镓发光二极管(英文)
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2010, 期号: 03
欧欣
;
陈静
;
武爱民
;
孙家胤
收藏
  |  
浏览/下载:32/0
  |  
提交时间:2012/01/06
MEMS器件
玻璃浆料
气密封装
圆片级键合
丝网印刷
MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
曹毓涵
收藏
  |  
浏览/下载:56/0
  |  
提交时间:2012/03/06
MEMS谐振器
圆片级封装
TSV
Cu/Sn键合
真空气密封装
镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02
李春梅
;
卫中领
;
沈钰
;
王增辉
;
陈秋荣
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制
波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵
;
顾溢
;
张晓钧
;
张永刚
收藏
  |  
浏览/下载:33/0
  |  
提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
毛健
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制
自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2007, 期号: 09
郑丹
;
倪卫其
;
姜伟
;
张熙贵
;
张鲲
;
夏保佳
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅/硅键合
圆片级真空封装