机构

• 半导体研究所 [9]

采集方式

• iSwitch采集 [5]
• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [8]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]
• 2003 [2]
• 2001 [3]
• 2000 [3]

学科主题

• 半导体材料 [4]

筛选

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Study on growth mechanism of low-temperature prepared microcrystalline si thin films 期刊论文  iSwitch采集 Acta physica sinica, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1890-1894 作者:  Gu, JH;  Zhou, YQ;  Zhu, MF;  Li, GH;  Kun, D 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2019/05/12 Growth mechanism  Microcrystalline silicon thin film  Surface morphology  Hot wire chemical vapor deposition   Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in hwcvd system 期刊论文  iSwitch采集 Thin solid films, 2003, 卷号: 430, 期号: 1-2, 页码: 50-53 作者:  Zhang, Q;  Zhu, M;  Wang, L;  Liu, E 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/05/12 Catalyzer  Hot-wire chemical vapor deposition  Simulation   Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in HWCVD system 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2003, 卷号: 430, 期号: 1-2, 页码: 50-53 Zhang Q; Zhu M; Wang L; Liu E 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2010/08/12 catalyzer  hot-wire chemical vapor deposition  simulation  AMORPHOUS-SILICON  DEPOSITION   Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted pecvd 期刊论文  iSwitch采集 Thin solid films, 2001, 卷号: 395, 期号: 1-2, 页码: 213-216 作者:  Feng, Y;  Zhu, M;  Liu, F;  Liu, J;  Han, H 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/05/12 Poly-si  Structure  Hot-wire  Plasma-enhanced chemical vapor deposition (pecvd)   Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2001, 卷号: 395, 期号: 1-2, 页码: 213-216 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |  浏览/下载：171/11  |  提交时间：2010/08/12 poly-Si  structure  hot-wire  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  MICROCRYSTALLINE SILICON  HYDROGEN   Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文  OAI收割 1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2010/11/15 poly-Si  structure  hot-wire  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  MICROCRYSTALLINE SILICON  HYDROGEN   Microstructure of poly-si thin films prepared at low temperatures 期刊论文  iSwitch采集 Solar energy materials and solar cells, 2000, 卷号: 62, 期号: 1-2, 页码: 109-115 作者:  Zhu, M;  Cao, Y;  Guo, X;  Liu, J;  He, M 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/05/12 Poly-si  Hot wire chemical vapor deposition  Microstructure   Microstructures of microcrystalline silicon thin films prepared by hot wire chemical vapor deposition 期刊论文  iSwitch采集 Thin solid films, 2000, 卷号: 360, 期号: 1-2, 页码: 205-212 作者:  Zhu, M;  Guo, X;  Chen, G;  Han, H;  He, M 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2019/05/12 Microstructures  Microcrystalline silicon  Hot wire chemical vapor deposition   Microstructures of microcrystalline silicon thin films prepared by hot wire chemical vapor deposition 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2000, 卷号: 360, 期号: 1-2, 页码: 205-212 Zhu M; Guo X; Chen G; Han H; He M; Sun K 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2010/08/12 microstructures  microcrystalline silicon  hot wire chemical vapor deposition  AMORPHOUS-SILICON  HYDROGEN  PLASMA  SPECTRA  GROWTH  SILANE