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Nonuniform self-imaging of achromatic Talbot lithography 期刊论文  OAI收割
CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: -
作者:  Xia, HJ;  Yang, SM;  Wang, LS;  Zhao, J;  Xue, CF
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/10/16
The wave optical whole process design of the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF 期刊论文  OAI收割
JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2018, 卷号: 25, 期号: -, 页码: 1869-1876
作者:  Xue, CF;  Meng, XY;  Wu, YQ;  Wang, Y;  Wang, LS
  |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/12/17
Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography 期刊论文  OAI收割
Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77
作者:  Chen, H.;  Qin, L.;  Chen, Y. Y.;  Jia, P.;  Gao, F.
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/09/17
Development of broadband X-ray interference lithography large area exposure system 期刊论文  OAI收割
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2016, 卷号: 87, 期号: 4, 页码: —
作者:  Xue, CF;  Wu, YQ;  Zhu, FY;  Yang, SM;  Liu, HG
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/09/12
Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography 期刊论文  OAI收割
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2015, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 5—11
作者:  Yang, SM;  Wang, LS;  Zhao, J;  Xue, CF;  Liu, HG
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2015/12/09
Fabrication of biomimic gaas subwavelength grating structures for broadband and angular-independent antireflection 期刊论文  iSwitch采集
Microelectronic engineering, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 2889-2893
作者:  Chen, Xi;  Fan, Zhong-Chao;  Xu, Yun
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/05/12