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OAI收割 [7]
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Research on the effect of nitrogen implantation doses on the structure of separation by implantation of oxygen and nitrogen
期刊论文
OAI收割
SMART MATERIALS & STRUCTURES, 2005, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: N42-N45
Zhang, EX
;
Yi, WB
;
Chen, J
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
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提交时间:2012/03/24
ION-BEAM SYNTHESIS
BURIED LAYERS
SILICON
Structure characterization and photon absorption analysis of carbon-doped beta-FeSi2 film
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2004, 卷号: 22, 期号: 6, 页码: 2473
Li, XN
;
Nie, D
;
Dong, C
;
Xu, L
;
Zhang, Z
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提交时间:2013/09/24
ION-BEAM SYNTHESIS
SEMICONDUCTING BETA-FESI2
SI(100)
EPITAXY
SI(001)
FESI2
Studies on silicon-on-insulator-multilayer structures prepared by epitaxial layer transfer
期刊论文
OAI收割
MATERIALS LETTERS, 2004, 卷号: 58, 期号: 3-4, 页码: 465-469
Xie, XY
;
Lin, Q
;
Liu, WL
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
ION-BEAM SYNTHESIS
NITRIDE
Fabrication of silicon-on-insulator-multilayer structure by epitaxial layer transfer
期刊论文
OAI收割
PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 2003, 卷号: 336, 期号: 3-4, 页码: 344-348
Xie, XY
;
Liu, WL
;
Lin, Q
;
Men, CL
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
ION-BEAM SYNTHESIS
NITRIDE
A comparative study on microstructures of beta-FeSi2 and carbon-doped beta-Fe(Si,C)(2) films by transmission electron microscopy
期刊论文
OAI收割
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002, 卷号: 194, 期号: 1, 页码: 47
Li, XN
;
Nie, D
;
Dong, C
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提交时间:2013/09/17
ION-BEAM SYNTHESIS
SEMICONDUCTING FESI2
THIN-FILMS
DISILICIDE
DEPOSITION
Influence of the addition of Co and Ni on the formation of epitaxial semiconducting beta-FeSi2: Comparison of different evaporation methods
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1998, 卷号: 83, 期号: 8, 页码: 4193-4201
Mangelinck, D
;
Wang, L
;
Lin, C
;
Gas, P
;
Grahn, J
;
Ostling, M
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提交时间:2012/03/25
ION-BEAM SYNTHESIS
SOLID-PHASE EPITAXY
THIN-FILM FORMATION
OPTICAL-PROPERTIES
IRON SILICIDES
ELECTRONIC-STRUCTURE
SILICON
COBALT
GROWTH
IMPLANTATION
Continuous CoSi2 layers in silicon synthesized by Co-ion implantation
期刊论文
OAI收割
Materials Letters, 1997, 卷号: 32, 期号: 2-3, 页码: 121-126
J. Z. Zhang
;
X. Y. Ye
;
J. Chang
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S. Bernard
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提交时间:2012/04/14
silicide
cobalt
CoSi2
ion implantation
buried cosi2
beam synthesis
beta-fesi2
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