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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王凤翔   |  收藏  |   射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |   氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |   用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 赵晖 收藏  |   MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |   新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08 熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄 收藏  |   MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 曹毓涵 收藏  |   多孔硅技术及在MEMS封装中的应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 张圣 收藏  |   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |