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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王凤翔   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/05/24 Rf Mems谐振器  频率稳定性  真空封装  寄生效应  射频测试   射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/05/31 RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性   氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2015/06/02 氮化铝  MEMS  谐振器  有限单元法  压电系数测试  ICP刻蚀   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2014/06/14 MEMS  气压传感器  静电激励  谐振器  气压仪表   用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 赵晖 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/06/03 参考频率源  MEMS 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿   MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08 熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  谐振器  质量传感器  自补偿   MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 曹毓涵 收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS谐振器  圆片级封装  TSV  Cu/Sn键合  真空气密封装   多孔硅技术及在MEMS封装中的应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 张圣 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 多孔硅  MEMS封装  边缘效应  机械应力  谐振器   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  纳米梁  各向异性腐蚀  硅  纳米谐振器