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机构
近代物理研究所 [4]
金属研究所 [1]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2013 [1]
2008 [1]
2001 [3]
2000 [1]
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共6条,第1-6条
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B和H离子顺次注入单晶Si引起的缺陷及其热演变(英文)
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2013, 期号: 4, 页码: 471-476
作者:
张蓓
;
张鹏
;
王军
;
朱飞
;
曹兴忠
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2015/12/25
单晶Si
B和H离子注入
H板层缺陷
XTEM
SPAT
He注入单晶Si表面形貌的变化研究
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2008, 卷号: 2008, 期号: 02, 页码: 144-147
李炳生
;
张崇宏
;
杨义涛
;
周丽宏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/10/29
单晶si
离子注入
He泡
原子力显微镜
表面形貌
离子辐照对单晶Si中预注入B原子扩散的影响
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2001, 卷号: 2001, 期号: 12, 页码: 1238-1244
刘昌龙,B.J.Sealy,A.Nejim,R.M.Gwilliam
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提交时间:2010/10/29
注入
瞬间增强扩散
二次离子质谱仪
单晶si
单晶Si中(10)面沿[11]方向裂纹的脆韧性转变
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2001, 期号: 5, 页码: 559-564
谭军,李守新,姚戈,温井龙
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/04/12
Si单晶
脆韧性转变
裂纹
滑移面
Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2001, 卷号: 2001, 期号: 03, 页码: 164-168
刘昌龙
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提交时间:2010/10/29
注入掺杂
瞬间增强扩散
单晶si
高能重离子
离子辐照单晶Si损伤效应的研究
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2000, 卷号: 2000, 期号: 03, 页码: 140-145
刘昌龙,朱智勇,侯明东,金运范,王志光
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提交时间:2010/10/29
离子辐照
单晶si
损伤效应
电子能损