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期刊论文 [44]
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土质滑坡地表倾斜变形特征与基于MEMS的倾斜变形监测技术初探
期刊论文
OAI收割
中国地质灾害与防治学报, 2020, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 69-77
作者:
刘晓宇
;
樊智勇
;
吴疆
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提交时间:2021/01/29
土质滑坡
预测预报
地表变形
时空演化
数值模拟
监测技术
微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势
期刊论文
OAI收割
High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201
作者:
高杨
;
雷强
;
赵俊武
;
吕军光
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2019/08/27
谐振器
谐振频率
灵敏度
三轴数字MEMS加速度计现场标定方法
期刊论文
OAI收割
振动.测试与诊断, 2014, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 544-548
作者:
彭孝东
;
张铁民
;
李继宇
;
闫国琦
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2014/11/03
微机电系统
加速度计传感器
标定
转台
基于MEMS的无线姿态测量系统
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2013, 期号: 8, 页码: 76-78
作者:
吴春俊
;
周炳红
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2015/10/29
姿态测量
卡尔曼滤波
无线传输
微机电系统
基于CC1110的无线双轴倾角传感器设计
期刊论文
OAI收割
电子产品世界, 2012, 期号: 11, 页码: 29-31
作者:
陈喆
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/12/28
倾角传感器
STC89C52
CC1110
ADXL202
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
;
车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
收藏
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浏览/下载:58/0
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟
;
熊斌
;
王跃林
;
马颖蕾
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/02/22
微机电系统
玻璃浆料封装
加速度计
真空封装
低热机械噪声MEMS加速度计设计
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
杨丹琼
;
陈志龙
;
徐静
;
钟少龙
;
李四华
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/04/13
加速度计
热机械噪声
体硅工艺
梳齿电容
滑膜阻尼
反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕
;
车录锋
;
孙腾
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/04/13
电容式加速度计
反馈补偿参数
Q值
微机械系统
MATLAB