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机构
微电子研究所 [16]
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OAI收割 [16]
内容类型
专利 [11]
期刊论文 [5]
发表日期
2018 [1]
2012 [1]
2011 [2]
2010 [1]
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共16条,第1-10条
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专题:微电子研究所
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基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2018
作者:
焦磊涛
;
欧文
;
蒋文静
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/04/25
一种气敏传感器
专利
OAI收割
专利号: CN200710117612.9, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2008-12-24
作者:
欧毅
;
黄钦文
;
景玉鹏
;
陈大鹏
;
叶甜春
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/11/26
一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关
专利
OAI收割
专利号: CN200710117611.4, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2008-12-24
作者:
景玉鹏
;
欧毅
;
叶甜春
;
李全宝
;
陈大鹏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2010/11/26
一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
专利
OAI收割
专利号: CN200710064876.2, 申请日期: 2011-06-01, 公开日期: 2008-10-01
作者:
叶甜春
;
李全宝
;
景玉鹏
;
陈大鹏
;
欧毅
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/11/26
一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关
专利
OAI收割
专利号: CN200710064879.6, 申请日期: 2010-08-18, 公开日期: 2008-10-01
作者:
景玉鹏
;
陈大鹏
;
叶甜春
;
刘茂哲
;
欧毅
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/11/26
一种双线圈推拉式射频微机电系统开关
专利
OAI收割
专利号: CN200720149743.0, 申请日期: 2008-09-17,
作者:
李全宝
;
景玉鹏
;
陈大鹏
;
欧毅
;
叶甜春
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提交时间:2010/11/26
一种二氧化碳超临界干燥装置
专利
OAI收割
专利号: CN200720103995.X, 申请日期: 2008-01-30,
作者:
叶甜春
;
欧毅
;
陈大鹏
;
景玉鹏
;
李全宝
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提交时间:2010/11/26
翘板式射频MEMS开关的研究
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 5,282-286
作者:
罗小光
;
刘茂哲
;
李全宝
;
焦斌斌
;
高超群
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提交时间:2010/05/27
射频开关
单晶硅
微机电系统(mems)
静电驱动
驱动电压
共面波导(cpw)
牺牲层固态升华释放改良设备
专利
OAI收割
专利号: CN200520023097.4, 申请日期: 2006-08-09,
作者:
石莎莉
;
陈大鹏
;
欧毅
;
叶甜春
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提交时间:2010/11/26
MEMS中的簿膜制造技术
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 39-42
作者:
董立军
;
陈大鹏
;
欧毅
;
黄钦文
;
石莎莉
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提交时间:2010/05/26
微机电系统
薄膜淀积
Pvd
Cvd
电镀
物理淀积