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  • 微电子研究所 [16]
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基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2018
作者:  
焦磊涛;  欧文;  蒋文静
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一种气敏传感器 专利  OAI收割
专利号: CN200710117612.9, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2008-12-24
作者:  
欧毅;  黄钦文;  景玉鹏;  陈大鹏;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/11/26
一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关 专利  OAI收割
专利号: CN200710117611.4, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2008-12-24
作者:  
景玉鹏;  欧毅;  叶甜春;  李全宝;  陈大鹏
  |  收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2010/11/26
一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 专利  OAI收割
专利号: CN200710064876.2, 申请日期: 2011-06-01, 公开日期: 2008-10-01
作者:  
叶甜春;  李全宝;  景玉鹏;  陈大鹏;  欧毅
  |  收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2010/11/26
一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关 专利  OAI收割
专利号: CN200710064879.6, 申请日期: 2010-08-18, 公开日期: 2008-10-01
作者:  
景玉鹏;  陈大鹏;  叶甜春;  刘茂哲;  欧毅
  |  收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/11/26
一种双线圈推拉式射频微机电系统开关 专利  OAI收割
专利号: CN200720149743.0, 申请日期: 2008-09-17,
作者:  
李全宝;  景玉鹏;  陈大鹏;  欧毅;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2010/11/26
一种二氧化碳超临界干燥装置 专利  OAI收割
专利号: CN200720103995.X, 申请日期: 2008-01-30,
作者:  
叶甜春;  欧毅;  陈大鹏;  景玉鹏;  李全宝
  |  收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2010/11/26
翘板式射频MEMS开关的研究 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 5,282-286
作者:  
罗小光;  刘茂哲;  李全宝;  焦斌斌;  高超群
  |  收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2010/05/27
牺牲层固态升华释放改良设备 专利  OAI收割
专利号: CN200520023097.4, 申请日期: 2006-08-09,
作者:  
石莎莉;  陈大鹏;  欧毅;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2010/11/26
MEMS中的簿膜制造技术 期刊论文  OAI收割
电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 39-42
作者:  
董立军;  陈大鹏;  欧毅;  黄钦文;  石莎莉
  |  收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/05/26