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浏览/检索结果: 共41条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   小型化SIR同轴腔体双通带滤波器研究 期刊论文  OAI收割 电子元件与材料, 2012, 期号: 8, 页码: 42-46 胡海平; 李国辉; 房卫东; 程孝奇 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/02/22 小型化  双通带滤波器  阶跃阻抗谐振器   一种具有亚微米间隙微机械谐振器及制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN102122935A, 申请日期: 2011-07-13, 公开日期: 2011-07-13 熊斌; 吴国强; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 新型双频窄带带通滤波器的设计 期刊论文  OAI收割 电子测量技术, 2011, 期号: 09 胡金萍; 李国辉; 房卫东 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/04/13 带通滤波器  双频滤波器  UIR  SIR   基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 12 丁萃; 成海涛; 杨恒 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 纳米梁  谐振器  压阻检测  MOS电容   新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08 熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  谐振器  质量传感器  自补偿   亚微米间隙微结构的制作方法及其制作的微机械谐振器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101917174A, 申请日期: 2010-12-15, 公开日期: 2010-12-15 熊斌; 徐德辉; 吴国强; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 一种体硅微机械谐振器及制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101867080A, 申请日期: 2010-10-20, 公开日期: 2010-10-20 熊斌; 吴国强; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/01/06 惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析 会议论文  OAI收割 2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议, 2010 刘保庆; 董林玺; 王晓迪; 吴艳; 孙玲玲 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 曹毓涵 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS谐振器  圆片级封装  TSV  Cu/Sn键合  真空气密封装