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上海光学精密机械研... [18]
采集方式
OAI收割 [18]
内容类型
学位论文 [13]
期刊论文 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2014 [2]
2012 [1]
2009 [3]
2007 [2]
2005 [3]
2004 [1]
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学科主题
光学工程 [3]
材料学 [2]
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共18条,第1-10条
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专题:上海光学精密机械研究所
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磷酸盐激光钕玻璃环形抛光工艺研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
单海洋
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/11/28
环形抛光,磷酸盐激光钕玻璃,抛光液,抛光胶,像散
Pitch Evaluation of High-precision Gratings
会议论文
OAI收割
conference on holography, diffractive optics, and applications vi
作者:
Lu, Yancong
;
Zhou, Changhe
;
Wei, Chunlong
;
Jia, Wei
;
Xiang, Xiansong
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
多光束激光并行直写光栅装置
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
曹武刚
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
多光束,高精度,光栅,激光直写,伺服聚焦
无掩模激光直写纳米光刻机
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
范永涛
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浏览/下载:150/0
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提交时间:2016/11/28
激光直写
无掩模光刻
微纳加工
自动聚焦
功率标定
半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
李中梁
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/28
振动测量
干涉测量
光学检测
正弦相位调制
数字式电容微位移传感器的研究与应用
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
师树恒
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浏览/下载:231/0
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提交时间:2016/11/28
数字式电容微位移传感器
有限元
光栅拼接
AD7746
PIC18F单片机
屏蔽
抗干扰
Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling
期刊论文
OAI收割
chinese journal of mechanical engineering (english edition), 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 1, 4
Wang Yong and Liu Zhigang and Bo Feng and朱健强
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浏览/下载:1305/229
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提交时间:2009/09/18
Control
Design
Diffraction gratings
High energy lasers
Mechanisms
Piezoelectric actuators
Stability
Voltage control
ICF中可调法布里-珀罗滤波器间距稳定度研究
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 777, 780
师树恒
;
王斌
;
王勇
;
朱健强
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浏览/下载:1540/224
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提交时间:2009/09/18
法布里-珀罗滤波器
Amplitude modulation
位移监控系统
Data processing
电容式位移传感器
Fabry-Perot interferometers
间距稳定度
Frequency modulation
幅度调制效应
Stability
双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:
宁志高
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
双频激光干涉仪
纳米测量
误差分析
五自由度纳米级定位工作台的设计研究
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: 15, 页码: 1317, 1321
王勇
;
刘志刚
;
薄锋
;
朱健强
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浏览/下载:1007/249
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提交时间:2009/09/18
精密定位
precision positioning
柔性机构
compliantmechanism
压电/电致伸缩驱动
piezo-driven mechanism
五自由度
5-DOF