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机构
上海微系统与信息技术... [7]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [1]
发表日期
1996 [1]
1995 [1]
1992 [1]
1991 [1]
1990 [2]
1989 [1]
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SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1996, 期号: 03
郑立荣
;
陈逸清
;
张顺开
;
林成鲁
;
邹世昌
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/29
脉冲准分子激光PZT铁电薄膜沉积及其特性研究
期刊论文
OAI收割
科学通报, 1995, 期号: 01
陈逸清
;
郑立荣
;
张顺开
;
林成鲁
;
邹世昌
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/29
N~+注入SOI材料上层硅的注入损伤和退火行为研究
期刊论文
OAI收割
核技术, 1992, 期号: 03
张顺开
;
林成鲁
;
周祖尧
;
朱文化
;
邹世昌
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/29
离子束合成SOI多层结构的研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1991, 期号: 03
林成鲁
;
张顺开
;
朱文化
;
邹世昌
;
李金华
;
P.L.F.Hemment
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/29
N+离子注入SOI材料的性能研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1990
张顺开
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/06
SIMNI和SIMOX多层结构及其光学性质的研究
期刊论文
OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1990, 期号: 09
林成鲁
;
俞跃辉
;
方子韦
;
张顺开
;
倪如山
;
邹世昌
;
李金华
;
P.L.F.Hemment
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/29
离子注入形成SOI结构的界面及埋层的俄歇能谱研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 1989, 期号: 12
俞跃辉
;
林成鲁
;
张顺开
;
方子韦
;
邹世昌
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/29