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SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 1996, 期号: 03
郑立荣; 陈逸清; 张顺开; 林成鲁; 邹世昌
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脉冲准分子激光PZT铁电薄膜沉积及其特性研究 期刊论文  OAI收割
科学通报, 1995, 期号: 01
陈逸清; 郑立荣; 张顺开; 林成鲁; 邹世昌
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/03/29
N~+注入SOI材料上层硅的注入损伤和退火行为研究 期刊论文  OAI收割
核技术, 1992, 期号: 03
张顺开; 林成鲁; 周祖尧; 朱文化; 邹世昌
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/03/29
离子束合成SOI多层结构的研究 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 1991, 期号: 03
林成鲁; 张顺开; 朱文化; 邹世昌; 李金华; P.L.F.Hemment
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/03/29
N+离子注入SOI材料的性能研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 1990
张顺开
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/03/06
SIMNI和SIMOX多层结构及其光学性质的研究 期刊论文  OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1990, 期号: 09
林成鲁; 俞跃辉; 方子韦; 张顺开; 倪如山; 邹世昌; 李金华; P.L.F.Hemment
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/03/29
离子注入形成SOI结构的界面及埋层的俄歇能谱研究 期刊论文  OAI收割
物理学报, 1989, 期号: 12
俞跃辉; 林成鲁; 张顺开; 方子韦; 邹世昌
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/29