机构

• 上海微系统与信息技... [21]

采集方式

• OAI收割 [21]

内容类型

• 专利 [10]
• 成果 [7]
• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2004 [4]
• 2003 [4]
• 2002 [5]
• 2001 [3]
• 2000 [1]
• 1999 [3]
• 更多

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共21条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法(中科院) 成果  OAI收割 鉴定: 无, 2004 王东平; 王文辉; 李铁; 杨艺榕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/04/12 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法 成果  OAI收割 鉴定: 无, 2004 王东平; 王文辉; 李铁; 杨艺榕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/04/12 转动竖直镜面的微机械光开关 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2004, 期号: 01 杨艺榕; 刘文平; 王跃林; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 智能传感器  无线传感器网络  路由协议  自组网   转动竖直微镜的硅微机械光开关研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 杨艺榕   收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械  光开关  竖直微镜  球透镜     一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1448737, 申请日期: 2003-10-15, 公开日期: 2003-10-15 王文辉; 唐衍哲; 杨艺榕; 吴亚明; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 一种用压电体驱动器制作的二维光开关矩阵 专利  OAI收割 专利类型: 实用新型, 专利号: CN2571076, 申请日期: 2003-09-03, 公开日期: 2003-09-03 吴亚明; 杨艺榕; 李毅 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 一种利用<110>硅片制作的微机械光开关 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1405592, 申请日期: 2003-03-26, 公开日期: 2003-03-26 向民; 杨艺榕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/06 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1405590, 申请日期: 2003-03-26, 公开日期: 2003-03-26 杨艺榕; 唐衍哲; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 一种采用双压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1385720, 申请日期: 2002-12-18, 公开日期: 2002-12-18 杨艺榕; 吴亚明; 王跃林; 李毅 收藏  |  浏览/下载：191/0  |  提交时间：2012/01/06 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1359017, 申请日期: 2002-07-17, 公开日期: 2002-07-17 李铁; 杨艺榕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06