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浏览/检索结果: 共9条,第1-9条 帮助

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硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用 期刊论文  OAI收割
传感器技术, 2005, 期号: 07
王浙辉; 李昕欣; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2012/01/06
氢氧化钾溶液对(100)硅上<100>晶向的凸角补偿方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1442511, 申请日期: 2003-09-17, 公开日期: 2003-09-17
李昕欣; 王浙辉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:79/0  |  提交时间:2012/01/06
一种扭转梁大位移的微机械光开关 专利  OAI收割
专利类型: 实用新型, 专利号: CN2569170, 申请日期: 2003-08-27, 公开日期: 2003-08-27
王浙辉; 李铁; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/01/06
一种底部三面保护的硅尖制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1391234, 申请日期: 2003-01-15, 公开日期: 2003-01-15
王浙辉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/01/06
一种扭转梁大位移的微机械光开关 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2003
王浙辉; 李铁; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2013/04/12
大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 03
王浙辉; 李铁; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2012/01/06
硅基微机械光开关研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2003
王浙辉  
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/03/06
一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN2472244, 申请日期: 2002-01-01, 公开日期: 2002-01-16
王浙辉; 王东平; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:64/0  |  提交时间:2012/01/10
1×2,2×2机械光开关 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2002
王跃林; 李铁; 吴亚明; 杨艺榕; 解健芳; 向民; 唐衍哲; 王东平; 王文辉; 王浙辉; 陈思琴
收藏  |  浏览/下载:110/0  |  提交时间:2013/04/12