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• 微电子研究所 [53]

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浏览/检索结果: 共53条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Micro Electro Mechanical Systems 专著  OAI收割 :Springer Nature, 2018 作者:  Ye TC(叶甜春);  Chen DP(陈大鹏);  Shi SL(石莎莉);  Jiao BB(焦斌斌)   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/05/23 用于增加原子层沉积前驱体数量的方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-12-11, 作者:  李超波;  卢维尔;  夏洋;  石莎莉   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2018/04/02 基于硅衬底制作绝热防粘连空腔的方法 专利  OAI收割 专利号: CN200710178776.2, 申请日期: 2012-05-23, 公开日期: 2009-06-10 作者:  叶甜春;  石莎莉;  陈大鹏;  欧毅;  景玉鹏   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-11, 作者:  饶志鹏;  李勇滔;  石莎莉;  江莹冰;  刘键   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/06/08 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-11, 作者:  夏洋   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/09/14 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-11, 作者:  饶志鹏;  万军;  夏洋;  陈波;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/09/14 用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-11, 作者:  饶志鹏;  万军;  夏洋;  陈波;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/09/14 一种原子层沉积设备 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-05, 作者:  张艳清;  夏洋;  李超波;  万军;  吕树玲   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/09/14 一种用于原子层沉积设备的气体分配器 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-05, 作者:  张艳清;  夏洋;  李超波;  万军;  吕树玲   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/09/14 一种气体分配器及原子层沉积设备 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-05, 作者:  张艳清;  夏洋;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/09/14