中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
上海微系统与信息技... [14]
电子学研究所 [5]
苏州纳米技术与纳米仿... [1]
光电技术研究所 [1]
声学研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
更多
采集方式
OAI收割 [23]
内容类型
学位论文 [12]
期刊论文 [9]
会议论文 [2]
发表日期
2017 [1]
2016 [1]
2015 [1]
2014 [1]
2013 [2]
2012 [4]
更多
学科主题
传感器 [6]
Sensor [1]
Vacuum [1]
真空电子技术 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共23条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
传感器TEC制冷封装技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:
伍宇恒
收藏
  |  
浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2017/05/31
热电制冷器
传感器制冷
ANSYS Icepak
TEC制冷封装
制冷控制
静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
谢波
收藏
  |  
浏览/下载:33/0
  |  
提交时间:2016/06/04
谐振式压力传感器
静电激励/电容检测
阳极键合真空封装
SOI通孔引线
Au电极无掩膜制作
温度自补偿
高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
收藏
  |  
浏览/下载:77/0
  |  
提交时间:2015/06/05
谐振式
压力传感器
品质因数
圆片级真空封装
阳极键合
吸气剂
TGV
低应力组装
差频检测
温度补偿
平面电极型MEMS电化学振动传感器设计
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
龚黎明
收藏
  |  
浏览/下载:62/0
  |  
提交时间:2014/06/17
平面电极
MEMS
电化学
封装
振动传感器
谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
曹明威
收藏
  |  
浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2013/06/08
MEMS气压传感器
“H”型谐振梁
差分检测
圆片级真空封装
阳极键合
谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
张健
收藏
  |  
浏览/下载:90/0
  |  
提交时间:2013/06/07
谐振式MEMS压力传感器
真空封装
低应力组装
闭环电路
传感器仪表
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
蔡梅妮
收藏
  |  
浏览/下载:198/0
  |  
提交时间:2013/04/24
MEMS加速度传感器
吸气剂
器件级真空封装
Q
自停止腐蚀
三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
王军诚
收藏
  |  
浏览/下载:116/0
  |  
提交时间:2013/04/24
压阻式三轴集成加速度传感器
抗过载
SIP微模块
芯片级封装
无栅AlGaN/GaN HEMT生物传感器的制作及其性能测量
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
薛伟
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2012/09/11
AlGaN/GaN HEMT 生物传感器 表面修饰 封装 比接触电阻率 探测极限
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片