机构

• 上海微系统与信息技术... [9]
• 半导体研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [11]

内容类型

• 学位论文 [5]
• 会议论文 [3]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2017 [2]
• 2010 [2]
• 2007 [1]
• 2005 [6]

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电容式微加工超声传感器关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 王小青 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/06/02 电容式微加工超声传感器  COMSOL仿真  低温硅片直接键合  粗糙度  接触角   GaAs/Si低温直接键合技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 刘雨生 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/06/01 GaAs/Si  直接键合  低温  等离子体活化   视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 01 邢玉梅; 惠春; 李刚; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 半导体技术  低温键合  气密性封装  苯并环丁烯(BCB)  气密性检测   低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   Si离子注入对SIMOX SOI材料抗总剂量辐照性能的影响(英文) 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 03 杨慧; 张恩霞; 张正选 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 低温金属键合  垂直腔面发射激光器  反射谱  光致荧光谱   迭代法重建平板光波导折射率分布 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2005, 期号: 06 郝寅雷; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 玻璃浆料  圆片级键合  低温气密封装   应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 刘玉菲; 刘文平; 李四华; 吴亚明; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2012/01/18 低温键合 气密性封装 苯并环丁烯 渗流模型 气密性   基于低温键合技术制备SOI材料的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 等离子体活化 键合强度 低温键合   等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注   MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 刘玉菲   收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2012/03/06 芯片级原子钟  低温键合  气密性封装  苯并环丁烯(BCB)  渗流模型