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	氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展期刊论文 OAI收割化工学报, 2022, 卷号: 73, 期号: 01, 页码: 73-84 作者: 向茂乔 \| 收藏 \| 浏览/下载：0/0 \| 提交时间：2023/06/08 氮化硅粉体技术碳热氮化法硅粉直接氮化法化学气相沉积法硅胺前体转化法合成机理
	低温（<400 °C）热液实验中氧逸度缓冲和测量技术学位论文 OAI收割中国科学院深海科学与工程研究所1003: 中国科学院深海科学与工程研究所, 2019 作者: 方京 \| 收藏 \| 浏览/下载：118/0 \| 提交时间：2019/07/11 低温热液实验氧逸度缓冲技术熔融毛细硅管冷封式高压釜定量拉曼光谱分析含 H2包裹体
	基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计期刊论文 OAI收割上海交通大学学报, 2008, 期号: 02 张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2012/01/06 体硅工艺深度反应离子刻蚀背片技术面内侧面压阻纳米级定位平台
	部分耗尽型注氟SIMOX器件的电离辐射效应期刊论文 OAI收割半导体学报, 2005, 期号: 02 李宁; 张国强; 刘忠立; 范楷; 郑中山; 林青; 张正选; 林成鲁收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/01/06 体硅键合技术薄膜密封技术微电子机械系统封装技术
	SGOI材料的SIMOX制备技术研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005 陈志君收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/03/06 掩盖注氧隔离技术氧化增强注氧隔离技术绝缘体上的锗硅应变硅
	偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作期刊论文 OAI收割光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757 作者: 张平; 王淑荣; 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2013/03/11 (111)硅片闪耀光栅体硅技术湿法腐蚀
	偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26 作者: 王淑荣; 吴一辉; 张平收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2013/03/11 (111)硅片闪耀光栅体硅技术微制造 MEMS 湿法腐蚀
	SOI的电学性能测试以及低功耗SOI DRAM的设计研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2002 黎传礼收藏 \| 浏览/下载：99/0 \| 提交时间：2012/03/06 电学性能:6794 低功耗:4331 设计研究:4272 SOI材料:3668 SOI技术:1176 体硅电路:797 抗辐照:730 耐高温:534 模拟仿真:511 外围电路:500
	SOI关键参数的光学表征技术——理论研究及工程实用化学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001 李林收藏 \| 浏览/下载：37/0 \| 提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅红外反射技术注氧隔离SOI 智能剥离SOI