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亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究
学位论文
OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:
杨超
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浏览/下载：102/0
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提交时间：2022/10/08
光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿
全息微立体光刻方法研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学: 中国科学院大学, 2022
作者:
王虎
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浏览/下载：60/0
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提交时间：2022/06/16
计算全息
空间光调制器
斜面光刻
曲面光刻
含氟丙烯酸酯光刻胶的合成及光刻应用
学位论文
OAI收割
: 中国科学院过程工程研究所, 2022
作者:
陈颖
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提交时间：2023/06/25
含氟聚丙烯酸酯,光刻胶,化聚乙烯亚胺/聚丙烯酸(Bpei/paa),层层自组装,可擦写性
多轴联动数控激光刻型加工关键技术及装备研发
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2022, 卷号: 49, 期号: 10
作者:
刘强
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王健
;
孙鹏鹏
;
李明
;
王辉
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浏览/下载：148/0
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提交时间：2022/08/29
微细加工
激光刻型
轨迹规划
光机电协同控制
工艺参数优化
五轴联动数控
接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:
张绍宇
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浏览/下载：30/0
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提交时间：2021/06/16
接近接触式光刻
光刻对准
图像处理
光刻机 信息时代的制造之王
期刊论文
OAI收割
百科知识, 2020, 期号: 32, 页码: 4-9
作者:
唐燕
;
胡松
;
何渝
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浏览/下载：96/0
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提交时间：2021/05/11
光刻机
芯片制造
X射线闪烁体成像探测器光学编码成像研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2020
作者:
夏慧娟
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浏览/下载：145/0
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提交时间：2020/12/07
X射线间接成像探测器
闪烁体
点扩散函数
高频信息
极紫外干涉光刻
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
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郭涛
;
姚舜
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浏览/下载：66/0
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提交时间：2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示
期刊论文
OAI收割
中国科学院院刊, 2020, 卷号: 35, 期号: 01, 页码: 112-117
作者:
余江
;
刘佳丽
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甘泉
;
李世光
;
张越
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浏览/下载：17/0
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提交时间：2021/01/16
重大原始创新
国家战略科技力量
新一代光刻技术
创新策源地
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
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浏览/下载：137/0
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提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
