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上海微系统与信息技... [10]
长春光学精密机械与物... [3]
高能物理研究所 [1]
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OAI收割 [14]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [5]
会议论文 [2]
发表日期
2009 [3]
2007 [2]
2006 [1]
2002 [1]
2001 [2]
2000 [1]
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硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1
王家畴
;
李昕欣
;
孙立宁
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/01/06
UV-LIGA
电镀
厚胶工艺
射频无源器件
微机械探卡
CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
会议论文
OAI收割
第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009
徐德辉
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/18
微机械热电堆 红外探测器 热电偶材料 多晶硅 结构支撑膜 干法各向同性 硅腐蚀工艺
SOI基光耦合器与二维光子晶体研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
方娜
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上硅
微纳米光学
三维模斑转换器
微机械加工工艺
二维光子晶体
光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
会议论文
OAI收割
2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会, 2007
冯飞
;
李珂
;
杨广立
;
闫许
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/01/18
光学读出热成像 红外成像 焦平面阵列 微机械工艺
复杂环境下的夜间视频车辆检测
期刊论文
OAI收割
计算机应用研究, 2007, 期号: 12
吴海涛
;
霍宏
;
方涛
;
郑春雷
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/01/06
光学读出热成像
焦平面阵列
微机械工艺
质子膜表面粗糙化对质子交换膜燃料电池膜电极性能改善研究
期刊论文
OAI收割
中国科学院研究生院学报, 2006, 期号: 04
张熙贵
;
夏保佳
;
刘娟英
;
王涛
;
钦佩
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/01/06
微机械陀螺
子结构
检测电容
工艺误差
硅光栅技术
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:
刘剑
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2013/03/11
硅光栅:8344
衍射光栅:2782
各向异性刻蚀:2681
制作工艺:2002
光刻胶:1650
闪耀光栅:1645
微机械:1511
微细加工技术:1326
多晶硅:1050
反射光栅:922
小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
李浩
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2012/03/06
加速度传感器:7293
压阻式:4277
小量程:3846
微机械:2928
悬臂梁结构:2194
压阻式传感器:356
传感器设计:246
芯片工艺:228
温度性能:213
制导系统:207
微机械微腔阵列结构生物传感器的制备和表征
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
田锋
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/03/06
制备和表征:5838
生物传感器:5508
阵列结构:4903
微机械:2902
微腔:1168
谷氨酸传感器:864
葡萄糖氧化:571
微电子平面工艺:504
半乳糖传感器:462
系统芯片:432
电容型微差压伺服传感器设计和制作
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000
韩明
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/06
传感器设计:6630
微差压传感器:5763
电容型:4463
伺服:1240
驱动光束不均匀:596
微机械:514
压力传感器:497
主要工艺流程:462
电容式:391
兼容工艺:340