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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究 学位论文  OAI收割 博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 李男男 收藏  |   一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |   集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 汪飞 收藏  |   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |   基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉 收藏  |   “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |   低功耗低噪声正交压控振荡器设计 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2006, 期号: 04 袁徐亮; 程知群; 孙晓伟 收藏  |   生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 金大重   收藏  |   小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海冶金研究所  , 2001 李浩   收藏  |   悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所  , 2000 金虎   收藏  |