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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究 学位论文  OAI收割 博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 李男男 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2016/06/23 微机械悬臂梁  耦合悬臂梁阵列  表面反应  微流体系统   一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械探卡  芯片测试  悬臂梁  接触电阻   集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 汪飞 收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械电子系统  　芯片测试探卡  　过孔互连  　悬臂梁探针阵列  　接触电阻　   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  x轴  音叉式陀螺  “8悬臂梁-质量块”结构  限制槽  (111)硅晶圆   “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀     低功耗低噪声正交压控振荡器设计 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2006, 期号: 04 袁徐亮; 程知群; 孙晓伟 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  噪声机制  微机械悬臂梁  分辨率   生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 金大重   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  生物传感器  微机械悬臂梁  高阶谐振模态  噪声机制     小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海冶金研究所  , 2001 李浩   收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 加速度传感器:7293  压阻式:4277  小量程:3846  微机械:2928  悬臂梁结构:2194  压阻式传感器:356  传感器设计:246  芯片工艺:228  温度性能:213  制导系统:207     悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所  , 2000 金虎   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 加速度传感器:6637  悬臂梁结构:5502  压阻式:4054  微机械:2896  小量程:437  薄膜应力:416  横向效应:388  氧化硅:368  复合薄膜:329  应力作用:298