机构

• 上海微系统与信息技... [11]
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• 电子学研究所 [1]
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采集方式

• OAI收割 [14]

内容类型

• 期刊论文 [8]
• 会议论文 [4]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2017 [1]
• 2016 [1]
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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81" 作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪   |  收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2018/08/17 Hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线   新型高效率传输阵列天线研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016 作者:  刘广 收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2016/07/15 传输阵列天线  微波网络理论  太赫兹  UV-LIGA  深反应离子刻蚀技术  高效率   DFT扩频广义多载波的系统仿真 期刊论文  OAI收割 微计算机信息, 2010, 期号: 07 徐其; 李明齐; 卜智勇 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 深反应离子刻蚀  锯齿流道  压电微泵  性能  效率   基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究 期刊论文  OAI收割 测试技术学报, 2010, 期号: 05 高安然; 李铁; 刘翔; 焦继伟; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS陀螺  深反应离子刻蚀  非对称结构  局域掩膜效应  模态失配   微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 冷悦 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微机械陀螺  深反应离子刻蚀  局域掩膜效应  热模型   单晶硅纳米梁的分子动力学模拟 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2006, 期号: 05 曹共柏; 焦继伟; 陈云飞; 李铁; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 微喷阵列芯片  微阵列  深反应离子刻蚀  计算流体力学模拟   倒装芯片化学镀镍/金凸点技术 期刊论文  OAI收割 电子与封装, 2005, 期号: 04 王立春; 全刚; 杨恒; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械  加速度计  压阻  深反应离子刻蚀   硅的电化学深刻蚀技术 会议论文  OAI收割 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005 王连卫; 吴俊徐; 陈瑜 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/01/18 硅衬底 电化学深刻蚀 传感器 深反应离子刻蚀 阳极氧化 微纳米通道   锂离子蓄电池保护电路发展现状及趋势 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2004, 期号: 09 蒋新华; 冯毅; 解晶莹 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 陀螺  压阻  深反应离子刻蚀   基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2004, 卷号: 2, 期号: 7, 页码: 284-287 邓凯; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/05/19 微机电系统(MEMS)  绝缘体上硅(SOI)  阳极键合  深反应离子刻蚀