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电容式微加工超声传感器关键技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
王小青
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/06/02
电容式微加工超声传感器
COMSOL仿真
低温硅片直接键合
粗糙度
接触角
基于石墨烯薄膜的触摸屏技术
期刊论文
OAI收割
高科技与产业化, 2016, 期号: 1, 页码: 56-59
作者:
魏大鹏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/03/16
石墨烯薄膜
触摸屏技术
触控屏
电容式
刻蚀
蚀刻
水蚀
光电侦查平台中电容式角位传感器的应用
期刊论文
OAI收割
信息通信, 2016, 期号: 1, 页码: 31-32
作者:
曹得胜
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/09/17
光电
电容式角位传感器
测量
光电稳定平台角位移高精度测量方法研究
期刊论文
OAI收割
国外电子测量技术, 2015, 期号: 10, 页码: 54-57
作者:
张宇鹏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/07/06
光电稳定平台
电容式传感器
测量
基于离散小波变换的气固两相流参数测量
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
黄峰
;
杨道业
;
施源
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/11/28
双层螺旋电极电容式传感器
离散小波变换
气固两相流
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕
;
车录锋
;
孙腾
;
王跃林
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2012/04/13
电容式加速度计
反馈补偿参数
Q值
微机械系统
MATLAB
MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
戚玉婕
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
反馈补偿参数
Q值
DSP
MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
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浏览/下载:115/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
阶跃响应测试
等效刚度
闭环力反馈
带宽
镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02
李春梅
;
卫中领
;
沈钰
;
王增辉
;
陈秋荣
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制