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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 戚玉婕 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  反馈补偿参数  Q值  DSP   MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 张灵霖 收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  阶跃响应测试  等效刚度  闭环力反馈  带宽   镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02 李春梅; 卫中领; 沈钰; 王增辉; 陈秋荣 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制   波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2008, 期号: 06 田招兵; 顾溢; 张晓钧; 张永刚 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装   一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 毛健 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制     MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 赵楷  收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  Verilog-A开关电容  相关双采样     自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装   硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 徐玮鹤   收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅-硅键合  圆片级真空封装     MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 吴浩   收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  等效电学模型  调制解调  力平衡  可靠工作范围