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• OAI收割 [16]

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• 期刊论文 [9]
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发表日期

• 2014 [1]
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浏览/检索结果: 共16条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 一种低成本高效率气动式微流控混合器 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 9, 页码: 588-592, 609 作者:  童兆宏;  董再励;  刘连庆;  姚萍 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2014/11/03 主动式微流控混合器  微流控芯片  聚二甲基硅氧烷(PDMS)  数控雕刻机(CNC)  微机械加工   CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究 会议论文  OAI收割 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/18 微机械热电堆 红外探测器 热电偶材料 多晶硅 结构支撑膜 干法各向同性 硅腐蚀工艺   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 方娜 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  　微纳米光学  　三维模斑转换器  　微机械加工工艺  　二维光子晶体　   SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 武爱民 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅  　微机械系统  　压力传感器  　有限元分析  　二维光子晶体　   基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2007, 卷号: 1, 期号: 总第144, 页码: 4,15_18 作者:  舞玉鹏;  叶甜春;  陈大鹏;  欧毅;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/05/26 射频微机械开关  单晶硅梁  静电驱动   基于TinyOS的无线传感器网络构建 期刊论文  OAI收割 单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07 肖建荣; 钱建生; 王营冠; 陆晔顼 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  压阻  碰撞  加速度计   微机械陀螺结构形状自组织优化方法 期刊论文  OAI收割 机械工程学报, 2007, 期号: 07 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  三轴加速度计  压阻  高g  塑封   一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2007, 期号: 03 卢云; 徐志农; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池  硅微机械  阳极流场  燃料利用率  MEMS技术   基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  x轴  音叉式陀螺  “8悬臂梁-质量块”结构  限制槽  (111)硅晶圆