机构

• 上海微系统与信息技... [20]
• 兰州化学物理研究所 [3]
• 国家空间科学中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [24]

内容类型

• 期刊论文 [14]
• 学位论文 [7]
• 会议论文 [3]

发表日期

• 2008 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [8]
• 2002 [3]
• 2001 [1]
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学科主题

• 材料科学与物理化学 [3]
• 空间技术 [1]

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浏览/检索结果: 共24条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子束增强沉积技术在薄膜制备中的应用研究 会议论文  OAI收割 中国化工学会2008年化工机械年会, 2008 门传玲; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/18 非晶态铝-氮薄膜 薄膜制备 离子束增强沉积 薄膜生长   采用新的T型发射极技术的自对准InP/GaInAs单异质结双极晶体管的性能(英文) 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 期号: 03 苏树兵; 刘训春; 刘新宇; 于进勇; 王润梅; 徐安怀; 齐鸣 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 二氧化铪  离子束增强沉积  高k电介质   无线传感器网络技术中的关键性问题 期刊论文  OAI收割 传感器世界, 2004, 期号: 07 肖健; 吕爱琴; 陈吉忠; 朱明华 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06 AlN薄膜  离子束增强沉积(IBED)  电绝缘性能   PIN结构GaInAsSb红外探测器的PSPICE模型 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01 李志怀; 夏冠群; 程宗权; 黄文奎; 伍滨和 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 二氧化钒薄膜  离子束增强沉积  溶胶-凝胶法   基于倒扣技术的24GHz混合集成平衡混频器 期刊论文  OAI收割 红外与毫米波学报, 2003, 期号: 05 徐涛; 程知群; 孙晓玮; 夏冠群 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 等离子体浸没式离子注入离子束增强沉积(PIIIIBAD)  TiN膜  显微硬度  摩擦性能   用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜 会议论文  OAI收割 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 邢玉梅; 陶凯; 俞跃辉; 宋朝瑞; 郑志宏 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/01/18 IBED方法 SOI 氧化铪薄膜 离子束辅助增强沉积系统 X射线衍射技术 电介质绝缘性能   氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01 易万兵; 陈猛; 陈静; 王湘; 刘相华; 王曦 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 氧化钒薄膜  离子束增强沉积  热电阻温度系数   半固态复合铸造SiC_P/ZL102的摩擦磨损行为研究 期刊论文  OAI收割 江苏冶金, 2003, 期号: 06 黄洁雯; 吴锵; 张恩霞 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 离子束增强沉积  碳膜  抑制电子发射   离子束增强沉积二氧化钒多晶薄膜的成膜机理 会议论文  OAI收割 光电子技术与信息/2003.8增刊, 2003 李金华; 袁宁一 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/18 二氧化钒薄膜 离子束增强沉积 成膜机理   AIN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 宋朝瑞   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 SOI  电热模型  自加热效应  离子束增强沉积  真空磁过滤弧源沉积