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机构
上海微系统与信息技术... [9]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
2015 [1]
2012 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2007 [2]
2005 [1]
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PC微流控芯片黏接筋与溶剂的协同辅助键合
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 708-713
作者:
范建华
;
邓永波
;
宣明
;
刘永顺
;
武俊峰
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提交时间:2016/07/06
微流控芯片
键合工艺
黏接筋
聚碳酸酯
丙酮溶剂
热压
硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
张志强
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浏览/下载:172/0
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提交时间:2013/04/24
芯片级原子钟
激光键合
键合强度
气密性
多层缓冲原子腔
一种硅埋置型微波多芯片组件封装的电性能
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 02
戚龙松
;
罗乐
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
聚二甲基硅氧烷
液滴型微流控芯片
等离子键合
热扩散键合
微流控芯片制作工艺的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
陈强
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浏览/下载:99/0
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提交时间:2012/03/06
微流控芯片
模具
掩膜层
刻蚀
键合
相变存储器测试系统中的脉冲信号的改善
期刊论文
OAI收割
计算机测量与控制, 2007, 期号: 10
梁爽
;
宋志棠
;
刘波
;
陈小刚
;
封松林
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
倒装芯片
金球凸点
引线键合
两步法电化学制备CuInSe_2太阳能电池吸收层材料
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2007, 期号: 03
张晓科
;
王可
;
解晶莹
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/06
微流控芯片
湿法刻蚀
紫外胶键合
微加工技术
MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
刘玉菲
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浏览/下载:72/0
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提交时间:2012/03/06
芯片级原子钟
低温键合
气密性封装
苯并环丁烯(BCB)
渗流模型
微小差分电容检测技术的研究
期刊论文
OAI收割
测试技术学报, 2004, 期号: 03
朱武
;
张佳民
;
熊斌
;
车录锋
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
芯片键合
等温凝固
Cu/Sn体系
微结构
Cu/Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
杜茂华
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/06
芯片键合
气密封装
等温凝固
Cu/Sn体系
一种用于CDMA系统的智能天线波束形成方法
期刊论文
OAI收割
电路与系统学报, 2003, 期号: 03
朱明华
;
吴惠兰
;
刘元安
;
刘海涛
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/01/06
可逆键合
电泳微芯片
尿蛋白