机构

• 上海光学精密机械研究... [5]
• 长春光学精密机械与物... [2]
• 微电子研究所 [1]
• 中国科学院大学 [1]

采集方式

• OAI收割 [8]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [8]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2014 [2]
• 2012 [1]
• 2008 [2]
• 2006 [4]

学科主题

• 光学薄膜 [4]

筛选

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193 作者:  梅林;  时光;  才玺坤;  武潇野;  张立超 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2015/04/17 薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数   高性能193nm光学薄膜的制备与性能研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  孙建 收藏  |  浏览/下载：361/0  |  提交时间：2016/11/28 193nm  氟化物  增透膜  高反膜  膜厚均匀性   193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232 作者:  隋永新;  王汝冬;  王平;  田伟 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法   高反射率193nm反射膜的实现 期刊论文  OAI收割 应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 19 尚淑珍; 赵祖欣; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：1299/142  |  提交时间：2009/09/22 193nm  反射膜  反射率  光学稳定性   高性能193nm反射膜的制备与误差分析 期刊论文  OAI收割 应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 207 尚淑珍; 徐山清; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：1168/184  |  提交时间：2009/09/22 193nm  反射膜  误差分析  吸收  散射   Effects of annealing on electron-beam evaporated 193nm al2o3/mgf2 hr mirrors 期刊论文  iSwitch采集 Acta physica sinica, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2639-2643 作者:  Shang, SZ;  Shao, JD;  Shen, J;  Yi, K;  Fan, ZX 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/05/10 193nm hr mirrors  Annealing  Optical loss  Absorption   侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者:  谢常青;  刘明;  陈宝钦;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/26 193nm光学光刻  衰减型移相掩模  离轴照明  数值孔径  Prolith   退火对电子束热蒸发193nm Al2O3/MgF2反射膜性能的影响 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2639, 2643 尚淑珍; 邵建达; 沈健; 易葵; 范正修 收藏  |  浏览/下载：952/120  |  提交时间：2009/09/22 193nm反射膜  193nm HR mirrors  退火  annealing  光学损耗  optical loss  吸收  absorption   光刻机系统中193nm薄膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 11, 14 尚淑珍; 易葵; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：1140/120  |  提交时间：2009/09/22 光刻  193nm  光学薄膜  准分子激光光刻  光刻机系