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Enhancement of a-IZO TTFT Performance by Using Y2O3/Al2O3 Bilayer Dielectrics
期刊论文
OAI收割
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS, 2011, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: H88-H92
Chen AH
;
Liang LY
;
Zhang HZ
;
Liu ZM
;
Ye XJ
;
Yu Z
;
Cao HT
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提交时间:2011/01/18
THIN-FILM TRANSISTORS
ELECTRICAL-PROPERTIES
GATE DIELECTRICS
HIGH-MOBILITY
SILICON
OXIDES
LAYERS
MICROELECTRONICS
SEMICONDUCTORS
STABILITY
Threshold voltage shift due to mechanical stress-enhanced plasma process-induced damage in 0.13-mu m pMOSFET
期刊论文
OAI收割
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2007, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 360-362
Li, R
;
Kong, WR
;
Tao, K
;
Yu, LJ
;
Huang, K
;
Ning, J
;
Geng, CQ
;
Wang, CD
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提交时间:2012/03/24
GATE OXIDES
DEGRADATION
First-principles theory of tunneling currents in metal-oxide-semiconductor structures
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 卷号: 89, 期号: 3, 页码: -
作者:
Zhang, X. -G.
;
Lu, Zhong-Yi
;
Pantelides, Sokrates T.
;
Zhang, XG , Oak Ridge Natl Lab, Ctr Nanophys Mat Sci, Oak Ridge, TN 37831 USA
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提交时间:2012/08/02
Ultrathin Gate Oxides
Band-structure
Electron-gas
States
Junctions
Formula
Phase separation and interfacial reaction of high-k HfAlOx films prepared by pulsed-laser deposition in oxygen-deficient ambient
期刊论文
OAI收割
Applied Physics Letters, 2006, 卷号: 88, 期号: 7
X. Y. Qiu
;
H. W. Liu
;
F. Fang
;
M. J. Ha
;
J. M. Liu
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提交时间:2012/04/14
silicate thin-films
thermal-stability
gate dielectrics
si(100)
zro2
capacitors
diffusion
kinetics
oxides
hfo2
Interfacial microstructure of high-kappa dielectric CaZrOx films deposited by pulse laser deposition in low oxygen pressure
期刊论文
OAI收割
Integrated Ferroelectrics, 2005, 卷号: 74, 页码: 103-111
X. Y. Qiu
;
H. W. Liu
;
F. Fang
;
M. J. Ha
;
J. M. Liu
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/04/14
calcium zirconate
interfacial kinetic process
microstructure
thermal-stability
gate dielectrics
zro2 films
thin-films
silicon
si
diffusion
si(100)
growth
oxides
Studies of the interfacial structure of LaAlO3 thin films on silicon by x-ray reflectivity and angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2005, 卷号: 97, 期号: 12
Li, XL
;
Xiang, WF
;
Lu, HB
;
Mai, ZH
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/09/24
GATE DIELECTRICS
STABILITY
SI(001)
SIO2
DEPOSITION
OXIDES
LAYERS
The investigation of key technologies for sub-0.1-mu m CMOS device fabrication
外文期刊
OAI收割
2001
作者:
Xu, QX
;
Qian, H
;
Yin, HX
;
Jia, L
;
Ji, HH
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提交时间:2010/11/26
p+-polysilicon Gate
Ge Preamorphization
Thin-films
Oxides
Transformation
Suppression
Resistance
Extension
Salicide
Mosfet