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近代物理研究所 [1]
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OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2019 [1]
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Laser-induced damage threshold in HfO2/SiO2 multilayer films irradiated by beta-ray
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS B, 2019, 卷号: 28, 页码: 024215
作者:
Fang, Mei-Hua
;
Tian, Peng-Yu
;
Zhu, Mao-Dong
;
Qi, Hong-Ji
;
Fei, Tao
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提交时间:2019/04/02
beta-ray irradiation
HfO2/SiO2 multilayer film
residual stress
laser-induced damage threshold
退火对HfO2/SiO2多层膜残余应力的影响
期刊论文
OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 225, 227
申雁鸣
;
韩朝霞
;
邵建达
;
邵淑英
;
贺洪波
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浏览/下载:1537/189
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提交时间:2009/09/22
退火
Annealing effects
HfO2/SiO2多层膜
Electron beam evaporation
残余应力
Influence of ZrO
2
in HfO
2
on reflectance of HfO
2
/SiO
2
multilayer at 248 nm prepared by electron-beam evaporation
期刊论文
OAI收割
appl. surf. sci., 2008, 卷号: 254, 期号: 15, 页码: 4864, 4867
Yuan Jingmei
;
Yuan Lei
;
贺洪波
;
Yi Kui
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:990/158
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提交时间:2009/09/22
HfO2/SiO2 multilayer
ZrO2 impurity
reflectance
Working pressure dependence of properties of Al2O3 thin films prepared by electron beam evaporation
期刊论文
OAI收割
chin. phys. lett., 2008, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 563, 565
占美琼
;
Wu Zhong-Lin
;
Fan Zheng-Xiu
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浏览/下载:1110/222
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提交时间:2009/09/22
INDUCED DAMAGE THRESHOLD
ASSISTED DEPOSITION
LASER DAMAGE
COATINGS
HFO2
SIO2
Interfacial structures and electrical properties of HfAl2O5 gate dielectric film annealed with a Ti capping layer
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007, 卷号: 90, 期号: 15, 页码: 152910-152910
Cheng, XH
;
Wan, L
;
Song, ZR
;
Yu, YH
;
Shen, DS
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/24
HAFNIUM
HFO2
SIO2
用于掺钛蓝宝石激光系统的高反膜的激光损伤
期刊论文
OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 12, 页码: 724, 726
姚建可
;
曾维强
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
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浏览/下载:1658/211
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提交时间:2009/09/22
电子束蒸发
Bandwidth
TiO2/HfO2/SiO2高反膜
Electron beams
带宽
Evaporation
激光损伤阈值
Refractive index
掺钛蓝宝石激光系统
Solid state lasers
Effect of SiO2 protective layer on the femtosecond laser-induced damage of HfO2/SiO2 multilayer high-reflective coatings
期刊论文
OAI收割
appl. surf. sci., 2007, 卷号: 253, 期号: 7, 页码: 3450, 3454
Yuan Lei
;
Zhao Yuanan
;
Wang Congjuan
;
贺洪波
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:986/160
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提交时间:2009/09/22
femtosecond laser
SiO2 protective layer
HfO2/SiO2
HR coating
laser-induced damage
Self-organized Ge nanocrystals embedded in HfAlO fabricated by pulsed-laser deposition and application to floating gate memory
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 1, 页码: 13110-13110
Liu, WL
;
Lee, PF
;
Dai, JY
;
Wang, J
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
DEVICE
HFO2
DIELECTRICS
OXIDATION
SIO2
Studies on Al2O3/ZrO2/Al2O3 high K gate dielectrics applied in a fully depleted SOI MOSFET
期刊论文
OAI收割
METALS AND MATERIALS INTERNATIONAL, 2004, 卷号: 10, 期号: 5, 页码: 475-478
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Shen, QW
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
CAPACITORS
FILM
ZRO2
HFO2
High frequency capacitance-voltage characterization of Al2O3/ZrO2/Al2O3 in fully depleted silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor capacitors
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 25, 页码: 5238-5240
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Wu, YJ
;
Liu, QB
;
Lin, CL
;
Duo, XZ
;
Zheng, LR
;
Ding, YF
;
Zhu, ZQ
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
MOS CAPACITORS
FILM
ZRO2
DIELECTRICS
HFO2