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	三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 蔡梅妮收藏 \| 浏览/下载：195/0 \| 提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器吸气剂器件级真空封装 Q 自停止腐蚀
	用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林收藏 \| 浏览/下载：33/0 \| 提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器自停止腐蚀品质因数器件级真空封装双面划片
	微流控芯片电泳分离血清高密度脂蛋白亚类的研究期刊论文 OAI收割生物化学与生物物理进展, 2010, 期号: 02 郑慧斐; 丛辉; 王惠民; 金庆辉; 赵建龙收藏 \| 浏览/下载：94/0 \| 提交时间：2012/01/06 电子技术 MEMS 高量程加速度传感器阻尼效果近似叠加理论
	两维碰撞加速度传感器及其实用化会议论文 OAI收割第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 周伟; 刘民; 姜伟; 李昕欣收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/01/18 加速度传感器碰撞冲击测量两维碰撞 MEMS加工模块化封装
	基于MEMS的倾角测量仪设计期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 16-18 作者: 白占元; 徐皑冬 \| 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2010/11/29 Mems 加速度传感器倾角测量
	硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2006, 期号: 04 许宝建; 乔治; 金庆辉; 赵建龙收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2012/01/06 MEMS加速度传感器检测电路分辨力噪声
	MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006 王俊杰收藏 \| 浏览/下载：43/0 \| 提交时间：2012/03/06 MEMS加速度传感器噪声分辨率谐振器静电自激驱动谐振频率
	MEMS和微流体分析系统的发展期刊论文 OAI收割光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31 作者: 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2013/03/11 MEMS技术:6304 微型全分析系统:4765 微流体:4334 压力传感器:2159 分析仪器:1871 加速度计:1775 流体分析:1530 微制造技术:1371 微小化:1291 仪器仪表:1244