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OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [8]
发表日期
2013 [1]
2008 [1]
2006 [1]
2001 [2]
2000 [2]
1982 [1]
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B和H离子顺次注入单晶Si引起的缺陷及其热演变(英文)
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2013, 期号: 4, 页码: 471-476
作者:
张蓓
;
张鹏
;
王军
;
朱飞
;
曹兴忠
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提交时间:2015/12/25
单晶Si
B和H离子注入
H板层缺陷
XTEM
SPAT
He注入单晶Si表面形貌的变化研究
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2008, 卷号: 2008, 期号: 02, 页码: 144-147
李炳生
;
张崇宏
;
杨义涛
;
周丽宏
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提交时间:2010/10/29
单晶si
离子注入
He泡
原子力显微镜
表面形貌
PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2006, 期号: 06
徐天宁
;
吴惠桢
;
斯剑霄
;
曹春芳
;
黄占超
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提交时间:2012/01/06
SIMOX
SOI
Si离子注入
总剂量辐照效应
pseudo-MOS
C离子注入Si中Si-C合金的形成及其特征
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 08, 页码: 979-984
王引书,李晋闽,王玉田,王衍斌,林兰英
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提交时间:2010/10/29
Si1-xcx合金
离子注入
损伤缺陷
应变分布
预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 07, 页码: 1329-1333
王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英
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提交时间:2010/10/29
离子注入
固相外延
Si1-xcx合金
不同剂量C离子注入Si单晶中Si_(1-x)C_x合金的形成及其特征
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2000, 卷号: 2000, 期号: 11, 页码: 2210-2213
王引书,李晋闽,金运范,王玉田,林兰英
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提交时间:2010/10/29
Si_(1-x)C_x合金
离子注入
固相外延
C离子注入Si中Si_(1-x)C_x合金的形成及其稳定性
期刊论文
OAI收割
科学通报, 2000, 卷号: 2000, 期号: 16, 页码: 1709-1713
王引书,李晋闽,王玉田,孙国胜,林兰英,金运范
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提交时间:2010/10/29
离子注入
Si_(1-x)C_x合金
Si_(1-x)C_x合金的稳定性
强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:
李元恒
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提交时间:2009/08/03
Si片
椭圆偏振光
强激光
辐照时间
激光退火
集成电路
样片
激光辐照
离子注入