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上海微系统与信息技术... [5]
近代物理研究所 [3]
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OAI收割 [8]
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6H-SiC blistering efficiency as a function of the hydrogen implantation fluence
期刊论文
OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2019, 卷号: 466, 页码: 141-150
作者:
Daghbouj, N.
;
Li, B. S.
;
Karlik, M.
;
Declemy, A.
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2019/03/27
Hydrogen implantation
6H-SiC
Smart-cut
Blistering
Strain
Study of surface exfoliation on 6H-SiC induced by H-2(+) implantation
期刊论文
OAI收割
PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 2017, 卷号: 508, 页码: 104-111
作者:
Zhang, L.
;
Li, B. S.
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提交时间:2018/05/31
Smart-cut
H-2(+) implantation
Transmission electron microscopy
Exfoliation
Blisters
Effects of the surface oxide layer on platelet growth in H-2(+)-implanted Si
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2014, 卷号: 102, 页码: 5-11
作者:
Li, B. S.
;
Wang, Z. G.
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提交时间:2018/07/05
Hydrogen Implantation
Platelet
Microcrack
Annealing
Smart-cut
微流控芯片电泳在尿蛋白分离中的应用
期刊论文
OAI收割
南通大学学报(医学版), 2007, 期号: 03
褚少朋
;
王惠民
;
宋宏伟
;
丛辉
;
王跃国
;
张芹
;
张志泉
;
徐耀忠
;
金庆辉
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提交时间:2012/01/06
GOI
smart-cut
键合
新型硅基薄膜材料转移技术的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
詹达
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上的硅(SOI)
绝缘层上的锗(GOI)
担酸锂(LiTaO_3)
智能剥离(Smart-cut)
共晶键合
AIN thin films fabricated by ultra-high vacuum electron-beam evaporation with ammonia for silicon-on-insulator application
期刊论文
OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2005, 卷号: 239, 期号: 3-4, 页码: 327-334
Zhu, M
;
Chen, P
;
Fu, RKY
;
Liu, WL
;
Lin, CL
;
Chu, PK
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提交时间:2012/03/24
EPITAXIAL-GROWTH
ALUMINUM NITRIDE
SMART-CUT(R) PROCESS
SI(111)
DEPOSITION
SAPPHIRE
SI
非单一SiO_2埋层的SOI新结构研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
谢欣云
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提交时间:2012/03/06
SOI新结构
ELTRAN
Smart-cut
自加热效应
Format ion of silicon on plasma synthesized aluminum nitride structure by ion cutting
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2004, 卷号: 22, 期号: 6, 页码: 2748-2753
Zhu, M
;
Chen, P
;
Fu, RKY
;
Liu, WL
;
Lin, CL
;
Chu, PK
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
SMART-CUT(R) PROCESS
IMPLANTATION
FILMS
INSULATOR
TECHNOLOGY
DIAMOND
FABRICATION
DEPOSITION
NITROGEN
SI