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The interfacial reaction and microstructure of Co/In/Cu sputtering target assembly after soldering
期刊论文
OAI收割
MICROELECTRONICS RELIABILITY, 2020, 卷号: 113, 页码: 6
作者:
Liu, Zhi-Quan
;
Meng, Zhi-Chao
;
Wu, Di
;
Shang, Zhengang
;
He, Xin
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  |  
The role of methane in the formation of fullerene-like nanostructure in amorphous carbon film deposited by reactive magnetron sputtering
期刊论文
OAI收割
Diamond & Related Materials, 2020, 期号: 109, 页码: 108018
作者:
Pei LL(裴露露)
;
Ju PF(鞠鹏飞)
;
Ji L(吉利)
;
Li HX(李红轩)
;
Liu XH(刘晓红)
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收藏
  |  
Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets
期刊论文
OAI收割
CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 14, 页码: 17530-17534
作者:
Li, YM
;
Zhao, GR
;
Qi, H
;
Li, MS
;
Zheng, YF
  |  
收藏
  |  
Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets
期刊论文
OAI收割
CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 14, 页码: 17530-17534
作者:
Li, Yueming
  |  
收藏
  |  
Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets
期刊论文
OAI收割
CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 14, 页码: 17530-17534
作者:
Li, Yueming
;
Zhao, Guorui
;
Qi, Hong
;
Li, Meishuan
;
Zheng, Yufeng
  |  
收藏
  |  
Deposition and characterization of phase-pure Ti2AlC and Ti3AlC2 coatings by DC magnetron sputtering with cost-effective targets
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2018, 卷号: 153, 页码: 62-69
作者:
Li, YM
;
Zhao, GR
;
Qian, YH
;
Xu, JJ
;
Li, MS
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收藏
  |  
Characteristics of the Structure and Properties of ZnSnO3 Films by Varying the Magnetron Sputtering Parameters
期刊论文
OAI收割
ACTA METALLURGICA SINICA-ENGLISH LETTERS, 2016, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 827-833
作者:
Wu FaYu
;
Li JianWei
;
Qi Yi
;
Ding WuTong
;
Guo YuanYuan
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收藏
  |  
磁控溅射沉积BCx薄膜的摩擦学性能
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2015, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 16-23
作者:
尚伦霖
;
王立平
;
张广安
;
蒲吉斌
收藏
  |  
Amorphous indium tin oxide films deposited on flexible substrates by facing target sputtering at room temperature
期刊论文
OAI收割
THIN SOLID FILMS, 2014, 卷号: 556, 页码: 155-159
作者:
Xiao, Y
;
Gao, FY
;
Dong, GB
;
Guo, TT
;
Liu, QR
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  |  
Comparative studies on damages to organic layer during the deposition of ITO films by various sputtering methods
期刊论文
OAI收割
Applied Surface Science, 2013, 卷号: 285, 页码: 389-394
H. Lei
;
M. H. Wang
;
Y. Hoshi
;
T. Uchida
;
S. Kobayashi
;
Y. Sawada
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