中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页 机构 成果 学者
  
  1. CAS IR Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共34条，第1-10条 帮助

条数/页： 排序方式：
带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2009, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 5，30-34
作者:  吴璇;  李海亮;  朱效立;  叶甜春;  陈宝钦
  |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2010/06/01
高线密度X射线透射光栅的制作工艺 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 5,2006_2010
作者:  陈宝钦;  叶甜春;  赵珉;  姜骥;  张庆钊
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/26
电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 6, 页码: 1147-1150
作者:  曹磊峰;  谢常青;  叶甜春;  王德强
  |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26
PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 60-64
作者:  梁静秋
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/03/11
X射线光刻对准系统图像增强技术和对准标记研究 期刊论文  OAI收割
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 5，22-25,32
作者:  叶甜春;  胡松;  刘业异;  王德强;  谢常青
  |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26
现代光刻技术 期刊论文  OAI收割
核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 81-86
作者:  叶甜春;  陈大鹏
  |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/05/26
50nm X射线光刻掩模制备关键技术 期刊论文  OAI收割
核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 96-98
作者:  叶甜春;  伊福廷;  彭良强;  张菊芳;  韩勇
  |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/05/26
用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 358-360
作者:  孙加兴;  叶甜春;  陈大鹏;  谢常青;  伊福庭
  |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/05/26
用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究 期刊论文  OAI收割
无机材料学报, 2004, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 887-894
作者:  刘志凌;  叶甜春;  陈大鹏;  吕反修;  李东辉
  |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/26
深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1．0 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30,35
作者:  张菊芳;  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26