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OAI收割 [29]
内容类型
期刊论文 [24]
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会议论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2011 [1]
2010 [1]
2009 [1]
2007 [5]
2006 [1]
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学科主题
光学薄膜 [5]
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共29条,第1-10条
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电子束蒸发制备铱膜的X射线波段特性研究
会议论文
OAI收割
中国陕西西安, 2015-10-17
作者:
刘哲
;
刘舵
;
李林森
;
刘永安
;
强鹏飞
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浏览/下载:93/0
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提交时间:2015/12/29
X射线
反射膜
反射率
铱(Ir)膜
电子束蒸发
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:
刘震
;
陈波
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/03/11
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
X射线衍射仪
反射率计
近水窗波段软X射线多层膜反射镜制备及性能
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
邓淞文
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浏览/下载:83/0
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提交时间:2016/11/28
软X射线多层膜
近水窗波段
反射率
结构
模拟退火算法
介孔SiO_2薄膜孔结构的慢正电子技术表征
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2009, 期号: 12, 页码: 8478-8483
作者:
王巧占
;
于润升
;
秦秀波
;
李玉晓
;
王宝义
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2015/12/25
同步辐射
X射线反射率
Doppler展宽
正电子素飞行时间谱
极紫外与短波长软X射线多层膜的研制
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
秦俊岭
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/11/28
软X射线
多层膜
反射率
模拟研究
Mo/Si
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
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浏览/下载:922/195
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
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浏览/下载:648/128
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 300, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
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浏览/下载:1079/158
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提交时间:2009/09/22
软X射线
多层膜
扩散屏障层
Mo/Si
反射率
模拟
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
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浏览/下载:1032/176
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:973/95
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提交时间:2009/09/22
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率