机构

• 力学研究所 [6]
• 武汉岩土力学研究所 [1]
• 上海硅酸盐研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [8]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 会议论文 [3]

发表日期

• 2023 [1]
• 2019 [1]
• 2013 [1]
• 2008 [4]
• 2005 [1]

学科主题

• Chemistry [1]
• Instrument... [1]
• Physics [1]
• Science & ... [1]

筛选

浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Multi-Channel MEMS-FAIMS Gas Sensor for VOCs Detection 期刊论文  OAI收割 MICROMACHINES, 2023, 卷号: 14, 期号: 3, 页码: - 作者:  Zhao, Zhujie;  Lei, Cheng;  Liang, Ting;  Zhang, Junna;  Liu, Yuqiao   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2023/08/02 gas sensor  MEMS  FAIMS  anodic bonding  VOC gas detection   Anodic bondable Li-Na-Al-B-Si-O glass-ceramics for Si - ULTCC heterogeneous integration 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2019, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 2419 作者:  Chen, Guanyu;  Ma, Mingsheng;  Liu, Zhifu;  Wei, Anqing;  Zavabeti, Ali   |  收藏  |  浏览/下载：95/0  |  提交时间：2019/12/26 ULTCC  Glass-ceramic  Anodic bonding  Activation energy  MEMS  Pressure sensor   Experiments on the mechanical behavior of anodically bonded interlayer of Pyrex Glass/Al/Si 会议论文  OAI收割 Beijing, China, June 16, 2013 - June 21, 2013 作者:  Hu YQ;  Zhao YP(赵亚溥)   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/11/08 Accelerometers  Aluminum  Glass  Nanostructures  Tensile strength  Anodic bonding  Bonding temperatures  Dendritic nanostructures  Intermediate layers  MEMS/NEMS  Micro accelerometers  Micro  scale structures  Quasi  static loading   Formation of dendritic nanostructures in Pyrex glass anodically bonded to silicon coated with an aluminum thin film 会议论文  OAI收割 14th International Conference on the Strength of Materials (ICSMA 14), Xian Jiaotong Univ, Xian, PEOPLES R CHINA, JUN 04-09, 2006 作者:  Hu YQ(胡宇群);  Zhao YP(赵亚溥);  Yu TX(余同希);  Zhao YP 收藏  |  浏览/下载：1243/48  |  提交时间：2009/07/23 Anodic Bonding  Dendritic Nanostructures  Aluminum Thin Film  Depletion Layer  Mems  Ion Drift Processes  Borosilicate Glass  Depletion   Formation Of Dendritic Nanostructures In Pyrex Glass Anodically Bonded To Silicon Coated With An Aluminum Thin Film 期刊论文  OAI收割 Materials Science And Engineering A-Structural Materials Properties Microstructure And Processing, 2008, 页码: 611-616 作者:  Hu YQ(胡宇泉);  Zhao YP(赵亚溥);  Yu TX(余同希) 收藏  |  浏览/下载：858/49  |  提交时间：2009/08/03 Anodic Bonding  Dendritic Nanostructures  Aluminum Thin Film  Depletion Layer  Mems  Ion Drift Processes  Borosilicate Glass  Depletion   Fractal Pattern Formation In Anodic Bonding Of Pyrex Glass/Al/Si 期刊论文  OAI收割 International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, 2008, 页码: 315-322 作者:  Hu YQ(胡宇群);  Zhao YP(赵亚溥);  Yu TX(余同希) 收藏  |  浏览/下载：555/64  |  提交时间：2009/08/03 Fractal Pattern  Dla  Anodic Bonding  Aluminum Interlayer  Mems  Diffusion-Limited Aggregation  Ion Drift Processes  Borosilicate Glass  Depletion  Films  Si   Residual Stress And Deformation Analysis Of Anodic Bonded Multi-Layer Of Glass And Aluminum 期刊论文  OAI收割 International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, 2008, 页码: 347-353 作者:  Liu CR;  Lu XY;  Yang ZY(杨振宇);  Meng QS 收藏  |  浏览/下载：486/66  |  提交时间：2009/08/03 Anodic Bonding  Mems  Aluminum  Glass  Residual Stress  Finite Element   Dendritic nanostructures and pattern formation in anodic bonding of Pyrex glass and crystalline silicon coated with aluminum ultra-thin film 会议论文  OAI收割 2005年纳米和表面科学与技术全国会议, 中国北京, 2005-09-01 作者:  Hu YQ(胡宇群);  Zhao YP(赵亚溥);  Zhao YP(赵亚溥) 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/09/10 anodic bonding  dendritic nanostructures  depletion layer  DLA