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机构
上海微系统与信息... [264]
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OAI收割 [264]
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期刊论文 [90]
专利 [87]
学位论文 [62]
成果 [15]
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发表日期
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2011 [12]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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高性能微型加热器及其在气体传感器中的应用
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
许磊
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浏览/下载:144/0
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提交时间:2013/04/24
微电子机械系统
微型加热器
气体传感器
催化燃烧
微纳融合
无源微流控芯片及其蛋白质结晶应用研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
罗娅慧
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2013/04/24
无源微流控
脱气PDMS驱动泵
自动进样
蒸发扩散
逆向扩散
非接触电导检测微流控分析芯片研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
刘本艳
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2013/04/24
非接触电导检测
微芯片毛细管电泳
锁相放大器
铂微电极位点上氧化铝纳米孔的制备
期刊论文
OAI收割
化学通报, 2012, 期号: 2, 页码: 172-175
刘彬
;
张缓缓
;
金庆辉
;
刘咏松
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/02/22
多孔氧化铝
微电极
铂基
氧化电压
生长机理
基于MEMS微镜的可调光学衰减器
期刊论文
OAI收割
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明
;
徐静
;
钟少龙
;
翟雷应
;
吴亚明
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提交时间:2013/02/22
可调光衰减器(VOA)
微光机电系统(MEMS)
微镜
垂直梳齿驱动器
基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
期刊论文
OAI收割
光通信技术, 2012, 期号: 4, 页码: 22-24
刘英明
;
徐静
;
李四华
;
吴亚明
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/02/22
体硅工艺
光栅光阀
光学调制器
绝缘体上硅
消光比
微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴
;
刘洁丹
;
李昕欣
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/02/22
MEMS
MISSM技术
单硅片单面加工
微型释放窗口
锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试
期刊论文
OAI收割
纳米技术与精密工程, 2012, 期号: 5, 页码: 451-457
关炎芳
;
刘春波
;
张士雄
;
俞正寅
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2013/02/22
微泵
流场
雷诺数
锯齿微流道
石墨烯的图形化方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN102263013A, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30
李铁
;
王文荣
;
王跃林
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浏览/下载:81/0
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提交时间:2012/01/06
一种相变存储材料及其制备方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN102227015A, 申请日期: 2011-10-26, 公开日期: 2011-10-26
吕业刚
;
宋三年
;
宋志棠
;
刘波
;
饶峰
;
吴良才
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06