机构

• 半导体研究所 [17]

采集方式

• OAI收割 [10]
• iSwitch采集 [7]

内容类型

• 期刊论文 [17]

发表日期

• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2011 [2]
• 2010 [2]
• 2009 [4]
• 2008 [2]
• 更多

学科主题

• 半导体材料 [9]
• 半导体化学 [1]

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浏览/检索结果: 共17条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Electrical properties of sulfur-implanted cubic boron nitride thin films 期刊论文  OAI收割 chinese science bulletin, 2014, 卷号: 59, 期号: 12, 页码: 1280-1284 Zhang, XW; Yin, ZG; Si, FT; Gao, HL; Liu, X; Zhang, XL 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/02 Doping and electrical properties of cubic boron nitride thin films A critical review 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2013, 卷号: 544, 页码: 2–12 X.W. Zhang 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2014/03/19 Electrical transport properties of the si-doped cubic boron nitride thin films prepared by in situ cosputtering 期刊论文  iSwitch采集 Journal of applied physics, 2011, 卷号: 109, 期号: 2, 页码: 5 作者:  Ying, J.;  Zhang, X. W.;  Yin, Z. G.;  Tan, H. R.;  Zhang, S. G. 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/05/12 Electrical transport properties of the Si-doped cubic boron nitride thin films prepared by in situ cosputtering 期刊论文  OAI收割 journal of applied physics, 2011, 卷号: 109, 期号: 2, 页码: article no.23716 作者:  Yin ZG;  Zhang XW;  Tan HR;  Fan YM;  Zhang SG 收藏  |  浏览/下载：41/3  |  提交时间：2011/07/05 HIGH-PRESSURE SYNTHESIS  VAPOR-DEPOSITION  NUCLEATION  EMISSION  DIAMOND  GROWTH   Effects of silicon incorporation on composition, structure and electric conductivity of cubic boron nitride thin films 期刊论文  iSwitch采集 Diamond and related materials, 2010, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 1371-1376 作者:  Ying, J.;  Zhang, X. W.;  Fan, Y. M.;  Tan, H. R.;  Yin, Z. G. 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2019/05/12 Cubic boron nitride  Doping  Ion beam assisted deposition  X-ray photoelectron spectroscopy   Effects of silicon incorporation on composition, structure and electric conductivity of cubic boron nitride thin films 期刊论文  OAI收割 diamond and related materials, 2010, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 1371-1376 Ying J (Ying J.); Zhang XW (Zhang X. W.); Fan YM (Fan Y. M.); Tan HR (Tan H. R.); Yin ZG (Yin Z. G.) 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/12/28 Cubic boron nitride  Doping  Ion beam assisted deposition  X-ray photoelectron spectroscopy  RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY  VAPOR-DEPOSITION  SI  NUCLEATION  GROWTH   Growth-parameter spaces and optical properties of cubic boron nitride films on si(001) 期刊论文  iSwitch采集 Chinese physics letters, 2009, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 4 作者:  Fan Ya-Ming;  Zhang Xing-Wang;  You Jing-Bi;  Ying Jie;  Tan Hai-Ren 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/05/12 Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition 期刊论文  iSwitch采集 Surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456 作者:  Fan, Y. M.;  Zhang, X. W.;  You, J. B.;  Tan, H. R.;  Chen, N. F. 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/05/12 Cubic boron nitride  Stress relaxation  Ion beam assisted deposition  Fourier transformed infrared spectroscopy   Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition 期刊论文  OAI收割 surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456 作者:  Tan HR;  Zhang XW;  You JB;  Fan YM 收藏  |  浏览/下载：262/33  |  提交时间：2010/03/08 Cubic boron nitride  Stress relaxation  Ion beam assisted deposition  Fourier transformed infrared spectroscopy   Growth-Parameter Spaces and Optical Properties of Cubic Boron Nitride Films on Si(001) 期刊论文  OAI收割 chinese physics letters, 2009, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: art. no. 056801 作者:  You JB;  Zhang XW;  Fan YM;  Tan HR 收藏  |  浏览/下载：368/49  |  提交时间：2010/03/08 BN THIN-FILMS  REFRACTIVE-INDEX  ELLIPSOMETRY  NUCLEATION  DIAMOND  DENSITY