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  • 上海微系统与信息技... [66]
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新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
周晓峰
收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2013/04/24
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
蔡梅妮
收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文  OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/02/22
低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文  OAI收割
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/04/13
反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/04/13
应用于矢量水听器的MEMS三轴加速度传感器研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2011
杨丹琼
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/06
产业与融合:MEMS发展面临的挑战 会议论文  OAI收割
2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会摘要集, 2010
王跃林
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/18
微流控芯片电泳分离血清高密度脂蛋白亚类的研究 期刊论文  OAI收割
生物化学与生物物理进展, 2010, 期号: 02
郑慧斐; 丛辉; 王惠民; 金庆辉; 赵建龙
收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/01/06