机构

• 电子学研究所 [11]

采集方式

• OAI收割 [11]

内容类型

• 会议论文 [5]
• 期刊论文 [4]
• 专利 [2]

发表日期

• 2010 [7]
• 2004 [3]
• 2003 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 集成温湿度大气压力传感器芯片 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2004-04-28, 2010-12-24 赵湛; 张博军; 武宇; 方震  收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2010/12/24 集成温湿度大气压力传感器芯片 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2004-04-28, 2010-12-24 赵湛; 张博军; 武宇; 方震  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/12/24 基于MEMS技术的集成温湿传感器研制 会议论文  OAI收割 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议, 2004 方震; 武宇; 赵湛; 张博军 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/09/04 MEMS  温湿传感器  热电原理  温湿测量   探空集成传感器设计 会议论文  OAI收割 中国微米/纳米第六届学术年会, 2003 武宇; 方震; 赵湛; 陈超; 张博军 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/04 集成传感器  微机电系统  导热检测法  气压检测  铂电阻法   基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 方震; 赵湛; 武宇; 陈超; 张博军 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/09/04 有限元分析方法  计算机模拟  MEMS技术  湿度传感器   基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 会议论文  OAI收割 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议, 2004 武宇; 赵湛; 方震; 张博军 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/09/04 集成传感器  MEMS  聚酰亚胺  湿度  温度  压力  加工工艺   探空微型电容压力传感器设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 武宇; 赵湛; 方震; 陈超; 张博军 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/09/04 电容压力传感器  MEMS   基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计 期刊论文  OAI收割 测控技术, 2004, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 10-14 方震，赵湛，武宇，陈超，张博军 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/09/02 有限元分析方法 计算机模拟 MEMS技术 湿度传感器   基于MEMS技术的集成温湿传感器研制 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2004, 卷号: 25, 期号: z3, 页码: 123-125 方震，武宇，赵湛，张博军 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/09/02 MEMS技术 集成温湿传感器   基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 101-104 武宇，赵湛，方震，张博军 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/09/02 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿 度 气 压