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• 上海微系统与信息技... [11]

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内容类型

• 期刊论文 [6]
• 专利 [2]
• 学位论文 [2]
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发表日期

• 2003 [6]
• 2002 [4]
• 2001 [1]

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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型高K栅介质ZrO_2薄膜材料的制备及表征 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01 章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 PCR微芯片  MEMS技术  表面处理   超薄顶层硅SOI衬底上高k栅介质ZrO_2的性能 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2003, 期号: 10 章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 一维光子带隙结构  微带滤波器   准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2003, 期号: 04 章宁琳; 宋志棠; 邢溯; 万青; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微针  药物传输  基因传输  微电子机械系统   近红外波段光子晶体的微细加工方法研究进展 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2003, 期号: 03 汪扬; 宋志棠; 章宁琳; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 电离层  全球定位系统  掩星  辐射流量   体Si和SOI上高k介质材料研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2003 章宁琳 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2012/03/06 体Si和SOI上高k介质材料研究和应用探索 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 章宁琳   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 介质材料:6207  应用探索:4935  顶层硅:3030  光子晶体波导:2944  界面产物:2372  MOS电容:1911  MOS器件:1679  串联电阻:1578  超高真空:1578  空气孔:1472     双绝缘埋层绝缘体上硅基二维光子晶体波导及制备方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1383003, 申请日期: 2002-12-04, 公开日期: 2002-12-04 章宁琳; 宋志棠; 林成鲁; 汪洋 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 以Al_2O_3为过渡层脉冲激光法制备PZT铁电薄膜 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2002, 期号: 02 万青; 王连卫; 邢朔; 章宁琳; 沈勤我; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 双绝缘埋层绝缘体上硅基二维光子晶体波导及制备方法 成果  OAI收割 鉴定: 无, 2002 章宁琳; 宋志棠; 林成鲁; 汪洋 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/04/12 新型高k栅介质材料研究进展 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2002, 期号: 04 章宁琳; 宋志棠; 万青; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：94/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 MOSFET  高k材料  栅介质