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机构
上海微系统与信息技... [15]
采集方式
OAI收割 [15]
内容类型
期刊论文 [12]
会议论文 [3]
发表日期
2011 [1]
2010 [1]
2006 [1]
2005 [2]
2004 [1]
2002 [4]
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高k材料Ta_2O_5结构与电学性质的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2011, 期号: 07
陈息林
;
余涛
;
吴雪梅
;
董尧君
;
诸葛兰剑
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/04/13
高k栅介质
Ta2O5
MOSFET器件
微结构
电学性质
高K栅介质材料的研究现状与前景
期刊论文
OAI收割
材料导报, 2010, 期号: 21
余涛
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
葛水兵
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/01/06
表面活性剂
PDMS
微流控芯片电泳
双离子束溅射制备非晶SiO_xN_y薄膜的强黄光发射(英文)
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2006, 期号: 03
瞿发俊
;
徐华
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
接触平坦化
化学机械抛光
均匀性
凹陷效应
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
期刊论文
OAI收割
功能材料信息, 2005, 期号: 04
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
柳襄怀
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
会议论文
OAI收割
《2005年功能材料学术年会》专辑, 2005
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
柳襄怀
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/18
栅极电子发射 薄膜材料 表面相结构 双离子束溅射
浸泡后多孔硅的结构及光致发光特性
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2004, 期号: 05
严勇健
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/01/06
微电机系统
PCR芯片
微流控
仿真模拟
Ge-SiO_2薄膜的XPS研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2002, 期号: 01
叶春暖
;
汤乃云
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
余跃辉
;
姚伟国
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2012/03/29
K1 Ge-SiO2薄膜
溅射
XPS谱
退火
退火温度对Ge-SiO_2薄膜结构的影响
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2002, 期号: 03
汤乃云
;
叶春暖
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
俞跃辉
;
姚伟国
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/29
K1 薄膜
溅射
退火温度
硅基氧化物薄膜的结构及光吸收特性的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2002, 期号: 02
吴雪梅
;
董业民
;
诸葛兰剑
;
叶春暖
;
汤乃云
;
俞跃辉
;
宁兆元
;
姚伟国
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/03/29
K1 薄膜
结构
光吸收
Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2002, 期号: 02
叶春暖
;
汤乃云
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
俞跃辉
;
姚伟国
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/01/06
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