机构

• 长春应用化学研究所 [3]
• 长春光学精密机械与物... [2]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [8]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2005 [1]
• 2001 [2]
• 1995 [1]
• 1983 [2]
• 1982 [1]
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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究 会议论文  OAI收割 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/18 微机械热电堆 红外探测器 热电偶材料 多晶硅 结构支撑膜 干法各向同性 硅腐蚀工艺   一种新型抗辐照SOI隔离结构 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 4，1291-1294 作者:  司红;  赵洪辰;  海潮和;  韩郑生;  钱鹤   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/05/26 隔离结构  抗辐照  Soi  薄sio2  多晶硅  Sio2多层膜   低温p-Si薄膜的制备研究 期刊论文  OAI收割 世界电子元器件, 2001, 期号: 11, 页码: 11-12 荆海; 邱法斌; 刘传珍; 付国柱 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 薄膜材料:4711  激光能量密度:4246  多晶硅:4023  膜的制备:3777  激光退火:3106  金属诱导:2364  液晶显示技术:2337  硅薄膜:1706  结晶度:1693  中国科学院:1680   准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备 期刊论文  OAI收割 液晶与显示, 2001, 期号: 03, 页码: 170-175 邱法斌; 骆文生; 张玉; 刘传珍; 荆海; 黄锡珉 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 多晶硅膜  准分子激光烧结  玻璃衬底  制备   TiN/TiSi2薄膜制备及其在集成电路中应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1995 朱培青 收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2012/03/06 TiN/TiSi<  2>  3>  薄膜  成膜工艺  四探针测试  接触系统TiN/TiSi<  应用  ECL电路  多晶硅发射极晶体管   变换工艺条件对C.V.D法制得的多晶硅薄膜电阻率及其剖面分布的影响 期刊论文  OAI收割 太阳能学报, 1983, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 325-329 韩桂林; 王岚; 刘连元 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/06/15 电阻率剖面  p型  成膜温度  面电阻率  剖面分布  n型  多晶硅薄膜  变换工艺   多晶硅薄膜(CVD)中硼杂质的剖面分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 1983, 期号: 1, 页码: 32-34 韩桂林; 王岚; 刘连元; 刘雅言; 单玉臣 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2012/06/15 剖面分析  掺杂浓度  剖面分布  多晶硅薄膜  多晶硅膜  电阻率  杂质分布   用CVD和高温退火技术制备大晶粒多晶硅薄膜 期刊论文  OAI收割 太阳能学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 460-463 韩桂林; 王岚; 刘连元; 刘雅言 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/06/15 多晶硅层  高温退火  大晶粒  多晶硅薄膜  多晶硅膜