机构

• 电子学研究所 [7]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 力学研究所 [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [11]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [5]

发表日期

• 2016 [2]
• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 2011 [1]
• 2008 [2]
• 2007 [1]
• 更多

学科主题

• 传感器 [4]
• Sensor [2]
• Vacuum [1]
• 真空电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2016/06/02 谐振式压力传感器  大量程  阳极键合  SOI背孔引线  温度自补偿   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/06/08 MEMS气压传感器  “H”型谐振梁  差分检测  圆片级真空封装  阳极键合   基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 王志迁 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/07/27 原子力显微镜  纳米管道  纳流控  微流控  阳极键合   Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2008, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 1466-1469 作者:  鲁晓莹;  刘翠荣;  孟庆森;  杨振宇 收藏  |  浏览/下载：2047/144  |  提交时间：2010/05/03 阳极键合  铝  Pyrex玻璃  力学特征  MEMS   从MEMS到NEMS进程中的技术思考 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 期号: 01 李昕欣; 夏晓媛; 张志祥 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  阳极键合  玻璃薄膜  电子束蒸发  键合强度   MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251 庞程; 赵湛; 杜利东 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/05/19 电容压力传感器  各向异性腐蚀  阳极键合  反应离子深刻蚀   一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/09/02 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统   Ag-SiO_2多层薄膜对光子带隙的影响(英文) 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2005, 期号: 11 宋志棠; 陈苏; 汪扬; 封松林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 SOG  阳极键合  智能剥离  薄层转移