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内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [5]

发表日期

• 2016 [2]
• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 2011 [1]
• 2008 [2]
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学科主题

• 传感器 [4]
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• Vacuum [1]
• 真空电子技术 [1]

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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |   基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 王志迁 收藏  |   Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2008, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 1466-1469 作者:  鲁晓莹;  刘翠荣;  孟庆森;  杨振宇;  赵亚溥 收藏  |   从MEMS到NEMS进程中的技术思考 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 期号: 01 李昕欣; 夏晓媛; 张志祥 收藏  |   MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251 庞程; 赵湛; 杜利东 收藏  |   一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |   Ag-SiO_2多层薄膜对光子带隙的影响(英文) 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2005, 期号: 11 宋志棠; 陈苏; 汪扬; 封松林 收藏  |