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采集方式

• OAI收割 [11]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [11]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2014 [2]
• 2012 [1]
• 2008 [4]
• 2006 [4]
• 2005 [1]

学科主题

• 光学薄膜 [6]

筛选

浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193 作者:  梅林;  时光;  才玺坤;  武潇野;  张立超 收藏  |   高性能193nm光学薄膜的制备与性能研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  孙建 收藏  |   193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232 作者:  隋永新;  王汝冬;  王平;  田伟 收藏  |   193 nm interference nanolithography based on SPP 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 5-6, 页码: 754-757 作者:  Xiong, Wei;  Du, Jinglei;  Fang, Liang;  Luo, Xiangang;  Deng, Qiling 收藏  |   低损耗193nm增透膜 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1946, 1950 尚淑珍; 邵建达; 范正修 收藏  |   高反射率193nm反射膜的实现 期刊论文  OAI收割 应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 19 尚淑珍; 赵祖欣; 邵建达; 范正修 收藏  |   高性能193nm反射膜的制备与误差分析 期刊论文  OAI收割 应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 207 尚淑珍; 徐山清; 邵建达 收藏  |   Effects of annealing on electron-beam evaporated 193nm al2o3/mgf2 hr mirrors 期刊论文  iSwitch采集 Acta physica sinica, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2639-2643 作者:  Shang, SZ;  Shao, JD;  Shen, J;  Yi, K;  Fan, ZX 收藏  |   侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者:  谢常青;  刘明;  陈宝钦;  叶甜春   |  收藏  |   退火对电子束热蒸发193nm Al2O3/MgF2反射膜性能的影响 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2639, 2643 尚淑珍; 邵建达; 沈健; 易葵; 范正修 收藏  |