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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 微型LED阵列器件的发展及应用 期刊论文  OAI收割 电子技术应用, 2015, 期号: 07, 页码: 3-6+10 作者:  李响;  梁中翥;  包兴臻;  梁静秋 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 LED  微阵列器件  微显示  MEMS   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：198/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   采用金-金键合工艺制备垂直结构氮化镓发光二极管(英文) 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 03 欧欣; 陈静; 武爱民; 孙家胤 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS器件  玻璃浆料  气密封装  圆片级键合  丝网印刷   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS器件 硅基片 集成式定位平台 位移传感器 闭环控制 开环控制 自适应PID控制   反射式光读出非致冷红外成像阵列器件研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 李珂   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS技术  反射式光读出非致冷红外成像阵列器件  温度补偿  热-机械灵敏度  噪声等效温差     粘着接触滞后模型 会议论文  OAI收割 2003年纳米和表面科学与技术全国会议, 中国北京, 2003-3-1 作者:  赵亚溥;  赵亚溥 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2014/02/14 滞后模型  电子机械  MEMS器件  机械系统  0  普遍存在  00  主要因素  0  重要因素  学行  行都  微电   电化学生物传感器 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 359-361 蔡新霞，李华清，饶能高，王利，崔大付 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2010/09/02 生物传感器 电化学器件 MEMS技术 集成化